特許

J-GLOBAL ID：201503018725613938

洗浄装置および加工装置

発明者： 白濱 智宏
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-267935
公開番号（公開出願番号）：特開2015-126033
出願日： 2013年12月25日
公開日（公表日）： 2015年07月06日
要約：

【課題】ウェーハの下面の周縁部を洗浄することができる洗浄装置および加工装置を提供すること。【解決手段】洗浄装置1は、ウェーハの周縁部を少なくとも3箇所で支持し、水平に保持しながら回転させる回転保持手段10と、回転保持手段10で保持されたウェーハの下面を洗浄する洗浄手段20と、を備える。洗浄手段20は、水平方向に回転軸を備えたローラ211でウェーハの中心を含む領域に接触して下面を洗浄する洗浄部21と、ウェーハの下面の周縁部に接触する弾性部材を備えた周縁洗浄部22と、から構成される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ウェーハの周縁部を少なくとも3箇所で支持し、水平に保持しながら回転させる回転保持手段と、前記回転保持手段で保持されたウェーハの下面を洗浄する洗浄手段と、を備えた洗浄装置であって、 前記洗浄手段は、 水平方向に回転軸を備えたローラでウェーハの中心を含む領域に接触して下面を洗浄する洗浄部と、 ウェーハの下面の周縁部に接触する弾性部材を備えた周縁洗浄部と、から構成される洗浄装置。

IPC (1件)：

H01L 21/304

FI (2件)：

H01L21/304 644C ,  H01L21/304 622Q

Fターム (22件)：

5F057AA21 ,  5F057BA11 ,  5F057CA14 ,  5F057DA11 ,  5F057DA39 ,  5F157AA12 ,  5F157AA15 ,  5F157AA70 ,  5F157AA73 ,  5F157AA96 ,  5F157AB02 ,  5F157AB14 ,  5F157AB33 ,  5F157AB90 ,  5F157AC01 ,  5F157BA02 ,  5F157BA07 ,  5F157BA13 ,  5F157BA14 ,  5F157BA31 ,  5F157BB22 ,  5F157DB02

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 洗浄ブラシ及び洗浄装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-213962   出願人：芝浦メカトロニクス株式会社
• ウェ-ハの平面加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-001318   出願人：株式会社東京精密
• ウェーハの洗浄装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-157169   出願人：三菱マテリアル株式会社