特許

J-GLOBAL ID：201503019229858757

検査セル動作において複数のエンティティからの様々な要求を分離して管理する為の、検査機とマテリアルハンドリング装置との間のインタポーザ

発明者： アーノルド,ヘンリー ,  ブラス,ブライアン ,  ゴーチエ,ピエール ,  レッドフォード,ジェームス スティーブン
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
代理人 (1件)： 斉藤 達也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-505922
公開番号（公開出願番号）：特表2015-520505
出願日： 2013年04月11日
公開日（公表日）： 2015年07月16日
要約：

デバイスを検査する装置。本装置は、検査制御モジュール及び検査分析モジュールを含む。検査制御モジュールは、第1のプローバ及びハンドラ(PH)要求を生成してスーパバイザモジュールに送信するように動作可能である。スーパバイザモジュールは、第1のPHコマンドを、その実行の為に、プローバ及びハンドラに送信するように動作可能である。検査分析モジュールは、第2のPH要求を生成してスーパバイザモジュールに送信するように動作可能である。スーパバイザモジュールは更に、第2のPHコマンドを、その実行の為に、プローバ及びハンドラに送信するように動作可能である。第2のPHコマンドの実行は、検査制御モジュールに対して透過的に行われる。

請求項（抜粋）：

デバイスを検査する装置であって、 第1のプローバ及びハンドラ(PH)要求を生成してスーパバイザモジュールに送信するように動作可能な検査制御モジュールであって、前記スーパバイザモジュールは、第1のPHコマンドをその実行の為にプローバ及びハンドラに送信するように動作可能である、前記検査制御モジュールと、 第2のPH要求を生成して前記スーパバイザモジュールに送信するように動作可能な検査分析モジュールであって、前記スーパバイザモジュールは更に、第2のPHコマンドをその実行の為に前記プローバ及びハンドラに送信するように動作可能であり、前記第2のPHコマンドの実行は、前記検査制御モジュールに対して透過的に行われる、前記検査分析モジュールと、 を備える装置。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  G01R 31/26

FI (2件)：

H01L21/66 B ,  G01R31/26 Z

Fターム (14件)：

2G003AA00 ,  2G003AF02 ,  2G003AF06 ,  2G003AG04 ,  2G003AG11 ,  2G003AH00 ,  2G003AH01 ,  2G003AH04 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106AA04 ,  4M106BA01 ,  4M106DD23 ,  4M106DJ20

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 判定基準の動的変更可能な半導体測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-331644   出願人：日本ヒューレット・パッカード株式会社
• プローバー装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-036122   出願人：山形日本電気株式会社