耐熱複合材料の製造方法及び製造装置

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (5件)：三好秀和 , 岩▲崎▼ 幸邦 , 高橋俊一 , 伊藤正和 , 高松俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-027605
公開番号（公開出願番号）：特開2015-151587
出願日： 2014年02月17日
公開日（公表日）： 2015年08月24日
要約：

【課題】セラミック繊維のプリフォームに炭化ケイ素を含浸した耐熱複合材料の製造において、炭化ケイ素の製膜の成長速度と埋込の均一性を両立させる。【解決手段】電気炉10に格納されたプリフォームの如き微細構造を有する基材100に原料ガス、添加ガス及びキャリアガスを含む混合ガスを供給し、化学気相堆積法又は化学気相含浸法によって炭化ケイ素を堆積して製膜し、原料ガスに加える添加ガスの添加量によって製膜の成長速度と埋込の均一性を制御するものであって、前記原料ガスはテトラメチルシランを含み、前記添加ガスは塩化水素や塩化メチルの如き塩素を含む分子を含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

化学気相堆積法又は化学気相含浸法を用い、反応炉に基材を格納して原料ガス、添加ガス及びキャリアガスを流し、前記基材に炭化ケイ素を堆積させて製膜するものであって、前記原料ガスがテトラメチルシランを含み、前記添加ガスが塩素を含む分子を含むことを特徴とする耐熱複合材料の製造方法。

IPC (1件)：

C23C 16/42

FI (1件)：

C23C16/42

Fターム (14件)：

4K030AA03 , 4K030AA06 , 4K030AA09 , 4K030AA16 , 4K030AA17 , 4K030BA37 , 4K030CA04 , 4K030CA08 , 4K030CA12 , 4K030FA10 , 4K030JA06 , 4K030KA02 , 4K030KA23 , 4K030LA11

引用特許：

出願人引用 (3件)

被膜作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-159121 出願人：株式会社半導体エネルギー研究所
X線露光用マスクの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-014099 出願人：日本電信電話株式会社, エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社
炭化ケイ素膜およびセラミック膜を堆積するための方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2006-539688 出願人：ケースウエスタンリザーブユニバーシティ

審査官引用 (1件)

被膜作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-159121 出願人：株式会社半導体エネルギー研究所

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