特許
J-GLOBAL ID:201503020056530597
電子ビーム生成用カソード部材およびその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (3件):
小谷 悦司
, 小谷 昌崇
, 宇佐美 綾
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-076067
公開番号(公開出願番号):特開2015-198034
出願日: 2014年04月02日
公開日(公表日): 2015年11月09日
要約:
【課題】電子ビーム生成用カソードの成分組成上の均質性を維持しつつ、割れや欠けなどの欠陥の発生を抑制したカソード並びにその製造方法を提供すること。【解決手段】電子ビーム生成用カソード部材であって、セリウムを30重量%以下で含み、かつ残部がイリジウムであり、前記カソード部材を構成する結晶粒の最長長さが500μm以下であり、前記結晶粒が、Ir2Ce結晶相、Ir3Ce結晶相、Ir7Ce2結晶相およびIr5Ce結晶相から選択される少なくとも1種類以上の結晶相で構成されることを特徴とする、電子ビーム生成用カソード部材。【選択図】なし
請求項(抜粋):
電子ビーム生成用カソード部材であって、
セリウムを30重量%以下で含み、かつ残部がイリジウムであり、
前記カソード部材を構成する結晶粒の最長長さが500μm以下であり、
前記結晶粒が、Ir2Ce結晶相、Ir3Ce結晶相、Ir7Ce2結晶相およびIr5Ce結晶相から選択される少なくとも1種類以上の結晶相で構成されることを特徴とする、電子ビーム生成用カソード部材。
IPC (6件):
H01J 1/14
, C22C 5/04
, B22F 1/00
, B22F 3/14
, B22F 3/24
, C22C 1/02
FI (6件):
H01J1/14 A
, C22C5/04
, B22F1/00 K
, B22F3/14 D
, B22F3/24 G
, C22C1/02 503A
Fターム (9件):
4K018AA02
, 4K018BA01
, 4K018BB04
, 4K018BB05
, 4K018EA02
, 4K018EA22
, 4K018FA06
, 4K018KA37
, 5C105AA01
引用特許:
引用文献:
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