特許
J-GLOBAL ID：201503020969907473
真空ポンプ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
江崎 光史
, 鍛冶澤 實
, 今村 良太
, 篠原 淳司
, 清田 栄章
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-160344
公開番号（公開出願番号）：特開2014-051969
特許番号：特許第5706483号
出願日： 2013年08月01日
公開日（公表日）： 2014年03月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 少なくとも一つのガス入口開口部と少なくとも一つのガス出口開口部を備えた真空ポンプであって、この真空ポンプが、少なくとも一つのロータシャフトを備え、そのロータシャフトには、ポンプ作用を生み出すための静止部品と対向して配置されたポンプ作用を生み出すための回転部品を有する少なくとも一つのロータが、ロータシャフトの中心に配置された軸方向を向いた少なくとも一つの固定部材を用いて固定されている真空ポンプにおいて、
この少なくとも一つのロータ(201)とロータシャフト(232)が、この少なくとも一つの固定部材(280)に追加して、回転阻止部(281;309;311;313,314;317,318)を備えていることと、
この回転阻止部(281;309;311;313,314;317,318)が、ロータ(201)のセンタリングスタッド(289)又はロータシャフト(232)に配置されており、そのために、ロータシャフト(232)又はロータ(201)において、半径方向又は軸方向に向かって高さを変化させる隆起部分(315a,315b;317)が設けられるとともに、それと逆のロータ(201)又はロータシャフト(232)において、それらの隆起部分(315a,315b;317)と形状結合して受け入れる窪み部分(316a,316b;318)が設けられていることと、
を特徴とする真空ポンプ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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