特許

J-GLOBAL ID：201503021565124900

真空ポンプ

発明者： ヤン・ホフマン ,  トビアス・シュトール ,  ミヒャエル・シュヴァイクヘーファー
出願人/特許権者： プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー
代理人 (5件)： 江崎 光史 ,  鍛冶澤 實 ,  今村 良太 ,  篠原 淳司 ,  清田 栄章
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-193203
公開番号（公開出願番号）：特開2013-053626
特許番号：特許第5683544号
出願日： 2012年09月03日
公開日（公表日）： 2013年03月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 軸(12)、軸(12)と結合されたハブ(40)、およびハブ(40)の第1の側(42)と結合された、軸(12)に同心のスリーブ、を有するロータ(10)を備えた真空ポンプにおいて、 スリーブが、ハブ(40)の第1の側(42)と結合された第1のスリーブ(50)と、軸(12)に同心に、軸方向においてハブ(40)の第1の側(42)に向かい合う第2の側(44)でハブ(40)と結合された第2のスリーブ(52)とに分割され、両スリーブの長さ(L1、L2)の和が、スリーブを分割しない場合の所望の圧力比のために必要な長さに対応すること、第1のスリーブ(50)は、ガス流れ内において第2のスリーブ(52)に後続配置されていること、第1のスリーブ(50)と第2のスリーブ(52)が、ガスを吸い込むための吸込開口(4)とガスを排出するための出口(6)の間に配置されていることを特徴とする真空ポンプ。

IPC (1件)：

F04D 19/04 ( 200 6.01)

FI (1件)：

F04D 19/04 D

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開平2-264197
  
• 真空ポンプ
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2007-556641   出願人：エドワーズリミテッド
• 真空ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-030826   出願人：プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー
• 真空ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-109856   出願人：プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー

審査官引用 (4件)

• 特開平2-264197
  
• 真空ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-030826   出願人：プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー
• 真空ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-109856   出願人：プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー
• 真空ポンプ
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2007-556641   出願人：エドワーズリミテッド