特許
J-GLOBAL ID：201503022056381313
加工装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (5件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 渡邊 隆
, 鈴木 三義
, 村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-155756
公開番号（公開出願番号）：特開2015-024428
出願日： 2013年07月26日
公開日（公表日）： 2015年02月05日
要約：
【課題】光学系を変更することなく、任意のオフセットに応じた加工を行うことができる加工装置を提供する。【解決手段】対物レンズを介して加工対象物の所定位置に加工用レーザー光を集光して加工を行う加工手段と、非点収差を有した光学系であって、対物レンズを介して加工対象物で反射された検出光の反射光を受光する非点収差光学系と、加工用レーザー光の集光位置におけるオフセット量を調整可能であって、非点収差光学系に設けられるオフセット量調整手段と、オフセット量に対応する位置に加工用レーザー光を集光させるように加工対象物に対する対物レンズの相対位置を調整する相対位置調整手段と、を備える加工装置。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
対物レンズを介して加工対象物の所定位置に加工用レーザー光を集光して加工を行う加工手段と、
非点収差を有した光学系であって、前記対物レンズを介して前記加工対象物で反射された検出光の反射光を受光する非点収差光学系と、
前記加工用レーザー光の集光位置におけるオフセット量を調整可能であって、前記非点収差光学系に設けられるオフセット量調整手段と、
前記オフセット量に対応する位置に前記加工用レーザー光を集光させるように前記加工対象物に対する前記対物レンズの相対位置を調整する相対位置調整手段と、
を備える加工装置。
IPC (3件)：
B23K 26/046
, B23K 26/00
, B23K 26/064
B23K26/04 C
, B23K26/00 M
, B23K26/08 N
4E068CA11
, 4E068CB02
, 4E068CB09
, 4E068CC01
, 4E068CD14
, 4E068CE04
, 4E068CE07
, 4E068DA10
, 4E068DB12
, 4E068DB13
