特許
J-GLOBAL ID:201503032007212846

情報管理システム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 平井 安雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-138605
公開番号(公開出願番号):特開2015-012251
出願日: 2013年07月02日
公開日(公表日): 2015年01月19日
要約:
【課題】設計情報や製造情報に関連付けて製造プロセス情報を管理することで、製造装置の動作の効率化を図ることができる情報管理システムを提供する。【解決手段】設計情報を管理する設計情報管理装置2と、プロセス情報を管理するプロセス情報管理装置3と、製造を行う製造装置4とを備える情報管理システム1であって、前記設計情報管理装置2が、前記設計情報に基づいて生成され、前記製造装置4を動作させるための製造情報を当該製造装置4に送信する製造情報送信部34を備え、前記プロセス情報管理装置3が、前記設計情報に関連付けられ、製造プロセスに関するプロセス設計情報を記憶するプロセス設計情報記憶部44と、前記プロセス設計情報を前記製造装置4に送信するプロセス設計情報送信部45とを備え、前記製造装置4が、送信された前記製造情報及び前記プロセス設計情報を取得する情報取得部81と、取得した前記製造情報及び前記プロセス設計情報に基づいて、前記製造装置4の動作を制御する制御部82とを備える。【選択図】図1
請求項(抜粋):
設計情報を管理する設計情報管理装置と、プロセス情報を管理するプロセス情報管理装置と、製造を行う製造装置とを備える情報管理システムであって、 前記設計情報管理装置が、 前記設計情報に基づいて生成され、前記製造装置を動作させるための製造情報を当該製造装置に送信する製造情報送信手段を備え、 前記プロセス情報管理装置が、 前記設計情報に関連付けられ、製造プロセスに関するプロセス設計情報を記憶するプロセス設計情報記憶手段と、 前記プロセス設計情報を前記製造装置に送信するプロセス設計情報送信手段とを備え、 前記製造装置が、 送信された前記製造情報及び前記プロセス設計情報を取得する情報取得手段と、 取得した前記製造情報及び前記プロセス設計情報に基づいて、前記製造装置の動作を制御する動作制御手段とを備えることを特徴とする情報管理システム
IPC (3件):
H01L 21/02 ,  G05B 19/418 ,  G06Q 50/04
FI (3件):
H01L21/02 Z ,  G05B19/418 Z ,  G06Q50/04
Fターム (9件):
3C100AA21 ,  3C100AA29 ,  3C100AA56 ,  3C100AA65 ,  3C100BB05 ,  3C100BB06 ,  3C100BB13 ,  3C100BB15 ,  3C100EE06
引用特許:
審査官引用 (4件)
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