特許
J-GLOBAL ID:201503034269713091
液体吐出装置の製造方法、圧電アクチュエータの製造方法及び液体吐出装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
梶 良之
, 須原 誠
, 木村 亨
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-158041
公開番号(公開出願番号):特開2015-027761
出願日: 2013年07月30日
公開日(公表日): 2015年02月12日
要約:
【課題】圧電層がその面方向と平行な向きに分極された圧電アクチュエータ、及び、圧電アクチュエータを備えた液体吐出装置の製造を簡単にする。【解決手段】互いに積層されたインク分離層41と圧電層42との間に、下部電極43及び分極用電極47となる、搬送方向に配列された複数の電極71が設けられている。圧電層42の上面に、上部電極44及び分極用電極48となる、複数の電極71と重なる複数の電極72が配置されている。圧電層42の各下部電極43と上部電極44とに挟まれた部分を、その下部電極43及び上部電極44の搬送方向の上流側に隣接する電極71、72と、下流側に隣接する電極71、72との間に電位差を生じさせることによって、搬送方向と平行な向きに分極させる。【選択図】図7
請求項(抜粋):
所定の配列方向に配列された複数の圧力室を含む液体流路が形成された流路ユニットと、
前記複数の圧力室内の液体に圧力を付与するための圧電アクチュエータと、
前記圧電アクチュエータを駆動するための駆動装置と、を備え、
前記駆動装置が、
駆動信号を出力するための複数の駆動信号出力端子と、
定電位に保持された定電位保持端子と、を備え、
前記圧電アクチュエータが、
前記複数の圧力室を覆う圧電層と、
前記圧電層に設けられ、前記複数の駆動信号出力端子と接続された複数の駆動用電極と、
前記圧電層に設けられ、前記定電位保持端子と接続された定電位電極と、を備えた液体吐出装置の製造方法であって、
前記圧電層と、前記複数の圧力室に対して個別に設けられ、前記圧電層の前記圧力室側の面となる第1面に前記配列方向に配列された複数の第1電極と、前記複数の圧力室に対して個別に設けられ、前記圧電層の前記第1面と反対側の面となる第2面に前記配列方向に配列され、前記複数の第1電極と重なる複数の第2電極とを含む構造体を作製する構造体作製工程と、
前記圧電層の前記第1電極と前記第2電極とに挟まれた複数の部分を、前記配列方向に分極させる分極工程と、
前記分極工程の後、前記複数の第1電極及び前記複数の第2電極と、前記駆動信号出力端子及び前記定電位保持端子とを接続する接続工程と、を備え、
前記分極工程において、
互いに重なる前記第1電極と前記第2電極との組を電極組として、
各電極組について、それぞれ、その電極組よりも前記配列方向の一方側に配置された前記電極組と、他方側に配置された前記電極組との間に電位差を生じさせることによって、前記圧電層の各電極組に挟まれた部分を前記配列方向に分極させ、
前記接続工程において、
各電極組について、第1電極及び前記第2電極のうち、一方の電極を前記駆動信号出力端子と接続し、他方の電極を前記定電位保持端子と接続することを特徴とする液体吐出装置の製造方法。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (9件):
2C057AF93
, 2C057AG44
, 2C057AG92
, 2C057AG93
, 2C057AP14
, 2C057AP90
, 2C057AR14
, 2C057BA04
, 2C057BA14
引用特許:
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