【請求項1】 単結晶の第1の半導体で形成される基板と、
前記基板上に形成されるゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上に形成され、多結晶の第2の半導体で形成される半導体層と、金属と前記第2の半導体との反応生成物である第1の金属半導体化合物で形成される金属半導体化合物層との積層構造を備えるゲート電極と、
前記ゲート電極を挟んで前記基板上に形成され、前記金属と前記第1の半導体との反応生成物である第2の金属半導体化合物で形成される電極とを備え、
前記多結晶の第2の半導体上の前記第1の金属半導体化合物の凝集温度が、前記単結晶の第1の半導体上の前記第2の金属半導体化合物の凝集温度より低く、
前記半導体層と前記金属半導体化合物層との界面にクラスタ状の炭素高濃度領域を有することを特徴とする半導体装置。
H01L 21/336 ( 200 6.01)
, H01L 29/78 ( 200 6.01)
, H01L 29/739 ( 200 6.01)
, H01L 21/8247 ( 200 6.01)
, H01L 27/115 ( 200 6.01)
, H01L 29/788 ( 200 6.01)
, H01L 29/792 ( 200 6.01)
, H01L 21/28 ( 200 6.01)
, H01L 29/417 ( 200 6.01)
, H01L 29/423 ( 200 6.01)
, H01L 29/49 ( 200 6.01)