特許
J-GLOBAL ID：201503037775563021
固体撮像装置、及び固体撮像装置の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-056687
公開番号（公開出願番号）：特開2013-191717
特許番号：特許第5710526号
出願日： 2012年03月14日
公開日（公表日）： 2013年09月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 複数の画素が2次元状に配列された画素配列を備え、
前記複数の画素のそれぞれは、
光電変換部と、
入射した光のうち特定の色の光を選択的に前記光電変換部に導くように配された多層干渉フィルターと、
を有し、
前記複数の画素のそれぞれにおける多層干渉フィルターは、
互いに屈折率の異なる第1の層と第2の層とが交互に積層された上部積層構造と、
前記第1の層と前記第2の層とが交互に積層された下部積層構造と、
前記多層干渉フィルターのフィルター特性を制御するように、前記上部積層構造と前記下部積層構造との間に形成された制御構造と、
を有し、
前記複数の画素のうち第1の画素における前記多層干渉フィルターと、前記複数の画素のうち前記第1の画素より前記画素配列の中心から遠い第2の画素における前記多層干渉フィルターとは、いずれも、第1の色の光を選択的に前記光電変換部に導くように配され、
前記第1の画素における前記制御構造は、前記上部積層構造と前記下部積層構造との間に第1の制御層を有し、
前記第2の画素における前記制御構造は、前記上部積層構造と前記下部積層構造との間に前記第1の制御層より厚い第2の制御層を有する
ことを特徴とする固体撮像装置。
IPC (4件)：
H01L 27/14 ( 200 6.01)
, G02B 5/28 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
, H04N 9/07 ( 200 6.01)
H01L 27/14 D
, G02B 5/28
, H01L 21/30 502 D
, H04N 9/07 D
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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