固体撮像装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：中島司朗 , 松村修治 , 小林国人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-193021
公開番号（公開出願番号）：特開2008-021866
出願日： 2006年07月13日
公開日（公表日）： 2008年01月31日
要約：

【課題】画素の微細化を図りつつ、カラーフィルタの透過特性が製品毎にばらつくことを抑制する。【解決手段】光電変換部103B,103R,103Gを有する半導体基板101と、半導体基板101上に、多層膜106A、スペーサ層106C及び多層膜106Bを順に積層してなり、スペーサ層106Cの厚みを光電変換部103B,103R,103Gに対応する領域毎に異ならせたカラーフィルタ106とを備え、多層膜106Aを構成する層のうちのスペーサ層106Cに隣接する層106dは窒化珪素(Si3N4)からなり、スペーサ層106Cは二酸化珪素(SiO2)からなる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

複数の光電変換部を有する半導体基板と、前記半導体基板上に、第1の多層膜、スペーサ層及び第2の多層膜を順に積層してなり、前記スペーサ層の厚みを光電変換部対応領域毎に異ならせたカラーフィルタとを備え、前記第1の多層膜のうちの前記スペーサ層に隣接する層状領域と前記スペーサ層とにおいて、一方が酸化物材料からなり、他方が非酸化物材料からなることを特徴とする固体撮像装置。

IPC (3件)：

H01L 27/14 , G02B 5/20 , H04N 9/07

FI (4件)：

H01L27/14 D , G02B5/20 101 , H04N9/07 A , H04N9/07 D

Fターム (23件)：

2H048BA03 , 2H048BA64 , 2H048BB04 , 2H048BB07 , 2H048BB08 , 2H048BB28 , 2H048BB47 , 4M118AA10 , 4M118AB01 , 4M118BA14 , 4M118FA06 , 4M118GB03 , 4M118GB08 , 4M118GC08 , 4M118GC14 , 4M118GC17 , 4M118GC20 , 4M118GD04 , 5C065BB30 , 5C065BB42 , 5C065CC01 , 5C065DD17 , 5C065EE06

引用特許：

出願人引用 (4件)

固体撮像装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-059532 出願人：松下電子工業株式会社
オンチップカラーフィルタ及びこれを用いた固体撮像素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-354731 出願人：ソニー株式会社
WO/2005/069376

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