特許

J-GLOBAL ID：201503038299428150

シート貼付装置および貼付方法

発明者： 高野 健 ,  杉下 芳昭
出願人/特許権者： リンテック株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-190769
公開番号（公開出願番号）：特開2015-056612
出願日： 2013年09月13日
公開日（公表日）： 2015年03月23日
要約：

【課題】1の接着シートで貼付可能な被着体の数を多くすることができるシート貼付装置および貼付方法を提供すること。【解決手段】シート貼付装置1は、被着体WFの被着面WF1を臨む位置に接着シートASを供給する供給手段3と、被着面WF1に接着シートASを押圧して貼付する押圧手段4と、接着シートASを所定形状に切り抜く切断手段5とを備え、切断手段5の切り抜きによって形成された接着シートASの切抜孔を次の被着体WFの外縁WF2に隣接させ、当該次の被着体WFの被着面WF1に接着シートASを貼付可能に設けられている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被着体の被着面を臨む位置に接着シートを供給する供給手段と、 前記被着面に前記接着シートを押圧して貼付する押圧手段と、 前記接着シートを所定形状に切り抜く切断手段とを備え、 前記切断手段の切り抜きによって形成された前記接着シートの切抜孔を次の被着体の外縁に隣接させ、当該次の被着体の被着面に前記接着シートを貼付可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。

IPC (1件)：

H01L 21/683

FI (1件)：

H01L21/68 N

Fターム (37件)：

5F131AA02 ,  5F131AA03 ,  5F131BA53 ,  5F131CA62 ,  5F131DA02 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DB22 ,  5F131DB36 ,  5F131DB42 ,  5F131DB53 ,  5F131EA07 ,  5F131EA14 ,  5F131EA22 ,  5F131EA24 ,  5F131EB01 ,  5F131EC32 ,  5F131EC33 ,  5F131EC34 ,  5F131EC35 ,  5F131EC63 ,  5F131EC64 ,  5F131EC68 ,  5F131EC69 ,  5F131FA17 ,  5F131FA32 ,  5F131FA34 ,  5F131FA35 ,  5F131KA12 ,  5F131KA14 ,  5F131KA22 ,  5F131KA33 ,  5F131KA44 ,  5F131KA54 ,  5F131KB03 ,  5F131KB04 ,  5F131KB32

引用特許：

審査官引用 (3件)

• シート貼付用テーブル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-015782   出願人：リンテック株式会社
• 貼付装置及び貼付方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-058530   出願人：大宮工業株式会社
• 半導体ウエハの保持装置及び保持方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-007175   出願人：リンテック株式会社