特許
J-GLOBAL ID：200903010684104072
シート貼付用テーブル
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-015782
公開番号（公開出願番号）：特開2007-043057
出願日： 2006年01月25日
公開日（公表日）： 2007年02月15日
要約：
【課題】シートの厚みやウエハの厚みに応じて高さ位置調整を行うことのできるシート貼付用テーブルを提供すること。【解決手段】半導体ウエハWの上面に接着シートSを貼付する際に用いられるテーブル13であり、当該テーブル13は、外側テーブル51と内側テーブル52とにより構成されている。外側テーブル51と内側テーブル52は、それぞれ単軸ロボット54,56を介して昇降可能に設けられるとともに、内側テーブル52は、外側テーブル51を昇降させたときに同時に昇降可能に設けられている。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
板状部材の上面にシート繰出ユニットから繰り出されたシートを押圧ローラで押圧して貼付するためのシート貼付用テーブルにおいて、
前記板状部材を支持する内側テーブルと、当該内側テーブルを囲むように配置された外側テーブルとからなり、
前記内側テーブルは、前記外側テーブルの上面を基準位置として前記板状部材の厚みに応じて昇降し、
前記押圧ローラは、前記外側テーブルの上面を基準として前記シートの厚みに応じて昇降可能に設けられていることを特徴とするシート貼付用テーブル。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
5F031CA02
, 5F031DA15
, 5F031HA58
, 5F031MA37
出願人引用 (1件)
審査官引用 (5件)
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