特許
J-GLOBAL ID：201503039150230493
放射線検出器、及び放射線検出器の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
長谷川 芳樹
, 黒木 義樹
, 石田 悟
, 柴山 健一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-236693
公開番号（公開出願番号）：特開2015-096823
出願日： 2013年11月15日
公開日（公表日）： 2015年05月21日
要約：
【課題】装置の小型化及びシンチレータ層の有効面積の大型化を両立すると共に生産性の向上が図られた放射線検出器、及びその製造方法を提供する。【解決手段】放射線検出器1は、受光部3及び複数のボンディングパッド5を有する光電変換素子アレイ7と、光電変換素子アレイ7上に積層されたシンチレータ層8と、シンチレータ層8及びボンディングパッド5から離間してシンチレータ層8とボンディングパッド5との間を通り且つシンチレータ層8を包囲するように、光電変換素子アレイ7上に形成された樹脂枠9と、シンチレータ層8を覆い、樹脂枠9上に位置する外縁13aを有する保護膜13と、を備え、樹脂枠9の内縁E1とシンチレータ層8の外縁E3との間の第1距離D1は、樹脂枠9の外縁E2と光電変換素子アレイ7の外縁E4との間の第2距離D2よりも短く、外縁13a及び溝部9aは、レーザ光によって加工されている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
1次元又は2次元に配列された複数の光電変換素子を含む受光部、及び前記光電変換素子と電気的に接続され且つ前記受光部の外側に配置された複数のボンディングパッドを有する光電変換素子アレイと、
前記受光部を覆うように前記光電変換素子アレイ上に積層され、放射線を光に変換するシンチレータ層と、
前記シンチレータ層の積層方向から見た場合に、前記シンチレータ層及び前記ボンディングパッドから離間して前記シンチレータ層と前記ボンディングパッドとの間を通り且つ前記シンチレータ層を包囲するように、前記光電変換素子アレイ上に形成された樹脂枠と、
前記シンチレータ層を覆い、前記樹脂枠上に位置する外縁を有する保護膜と、を備え、
前記樹脂枠の内縁と前記シンチレータ層の外縁との間の第1距離は、前記樹脂枠の外縁と前記光電変換素子アレイの外縁との間の第2距離よりも短くなっており、
前記保護膜の前記外縁、及び前記樹脂枠において前記保護膜の前記外縁に対応する対応領域は、レーザ光によって加工された状態となっている、
放射線検出器。
IPC (1件)：
FI (4件)：
G01T1/20 L
, G01T1/20 E
, G01T1/20 G
, G01T1/20 D
2G188BB02
, 2G188CC15
, 2G188CC17
, 2G188CC19
, 2G188CC22
, 2G188DD04
, 2G188DD05
, 2G188DD35
, 2G188DD42
, 2G188DD43
, 2G188DD44
