描画データの作成方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：池上徹真 , 須藤章 , 松山允之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-233820
公開番号（公開出願番号）：特開2015-095538
出願日： 2013年11月12日
公開日（公表日）： 2015年05月18日
要約：

【課題】図形毎にドーズ量が異なる場合でもデータ量を低減可能なデータフォーマットを用いた描画データの作成方法を提供する。【解決手段】荷電粒子ビームを用いて試料に複数の図形パターンを描画する描画装置に入力されるための描画データの作成方法において、複数の図形情報が定義されると共に、複数の図形情報が定義される前或いは後に各図形のドーズ量情報が連続して定義されるデータフォーマットに従って描画データを作成する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

荷電粒子ビームを用いて試料に複数の図形パターンを描画する描画装置に入力されるための描画データの作成方法において、複数の図形情報が定義されると共に、前記複数の図形情報が定義される前或いは後に各図形のドーズ量情報が連続して定義されるデータフォーマットに従って前記描画データを作成することを特徴とする描画データの作成方法。

IPC (1件)：

H01L 21/027

FI (1件)：

H01L21/30 541M

Fターム (5件)：

5F056AA04 , 5F056CA05 , 5F056CA22 , 5F056CC12 , 5F056CC13

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭63-186428
描画データの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-235457 出願人：株式会社ニューフレアテクノロジー
プリンタ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2012-026420 出願人：キヤノン株式会社

全件表示

前のページに戻る