特許
J-GLOBAL ID：201503045268194238
サーミスタ用金属窒化物材料及びその製造方法並びにフィルム型サーミスタセンサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉浦 秀幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-184785
公開番号（公開出願番号）：特開2015-053356
出願日： 2013年09月06日
公開日（公表日）： 2015年03月19日
要約：
【課題】 フィルム等に直接成膜することができ、高い耐熱性を有して信頼性が高いサーミスタ用金属窒化物材料及びその製造方法並びにフィルム型サーミスタセンサを提供すること。【解決手段】 サーミスタに用いられる金属窒化物材料であって、一般式:TixGay(N1-wOw)z(0.0≦w≦0.85、0.70≦y/(x+y)≦0.99、0.45≦z≦0.55、x+y+z=1)で示される金属窒化物からなり、その結晶構造が、六方晶系のウルツ鉱型の単相である。このサーミスタ用金属窒化物材料の製造方法は、Gaの蒸発源と、Tiの蒸発源とを用いて窒素及び酸素含有雰囲気中で反応性プラズマ蒸着法により成膜する成膜工程を有している。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
サーミスタに用いられる金属窒化物材料であって、
一般式:TixGay(N1-wOw)z(0.0≦w≦0.85、0.70≦y/(x+y)≦0.99、0.45≦z≦0.55、x+y+z=1)で示される金属窒化物からなり、
その結晶構造が、六方晶系のウルツ鉱型の単相であることを特徴とするサーミスタ用金属窒化物材料。
IPC (4件)：
H01C 7/04
, H01C 17/08
, C01G 23/00
, C23C 14/06
H01C7/04
, H01C17/08
, C01G23/00 Z
, C23C14/06 A
4G047CA01
, 4G047CB04
, 4G047CC03
, 4G047CD02
, 4G047CD07
, 4K029AA11
, 4K029AA25
, 4K029BA58
, 4K029BB03
, 4K029BB07
, 4K029CA04
, 4K029DD05
, 4K029HA01
, 4K029JA02
, 5E032BB10
, 5E032CA11
, 5E032DA15
, 5E034BA09
, 5E034BB08
, 5E034BC20
, 5E034DA10
, 5E034DC02
