特許
J-GLOBAL ID:201503051051360229

液体吐出装置、液漏れ抑制方法、インプリント装置および部品の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 阿部 琢磨 ,  黒岩 創吾
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-188444
公開番号(公開出願番号):特開2015-092549
出願日: 2014年09月17日
公開日(公表日): 2015年05月14日
要約:
【課題】 ヘッドからの液体の漏れを抑制することにある。【解決手段】 液体吐出装置1は、液体9を吐出するヘッド3と、液体収容ユニット4と、液状充填剤11と、圧力調整手段12と、を備える。液体収容ユニット4は、密閉された筐体7と、筐体7の内部に設けられた可撓性部材8と、を含む。筐体7は、ヘッド3と連通する第1の収容空間と、可撓性部材7を用いて第1の収容空間と隔てられた第2の収容空間と、を含む。第1の収容空間が液体9を収容する。液状充填剤11は、第2の収容空間に充填される。圧力調整手段12は、第2の収容空間と連通している。そして、圧力調整手段12は、ヘッド3に対する負圧を維持する為に、第2の収容空間に充填された液状充填剤11の圧力を調整する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
液体を吐出するヘッドと、 密閉された筐体と該筐体の内部に設けられた可撓性部材とを含み、前記筐体が前記ヘッドと連通する第1の収容空間と前記可撓性部材を用いて前記第1の収容空間と隔てられた第2の収容空間とを有し、前記第1の収容空間が前記液体を収容する液体収容ユニットと、 前記第2の収容空間に充填される液状充填剤と、 前記第2の収容空間と連通し、前記ヘッドに対する負圧を維持するために、前記第2の収容空間に充填された前記液状充填剤の圧力を調整する圧力調整手段と、を備えることを特徴とする液体吐出装置。
IPC (7件):
H01L 21/027 ,  B05C 5/00 ,  B41J 2/175 ,  B05C 11/10 ,  B05C 9/12 ,  B05D 1/26 ,  B05D 3/00
FI (10件):
H01L21/30 502D ,  B05C5/00 101 ,  B41J2/175 143 ,  B41J2/175 171 ,  B41J2/175 119 ,  B05C11/10 ,  B05C9/12 ,  B05D1/26 Z ,  B05D3/00 B ,  H01L21/30 564Z
Fターム (49件):
2C056EA18 ,  2C056EA26 ,  2C056EB20 ,  2C056EB34 ,  2C056EC19 ,  2C056EC32 ,  2C056KC05 ,  2C056KC14 ,  2C056KC17 ,  2C056KC18 ,  2C056KC22 ,  2C056KC27 ,  2C056KC30 ,  4D075AC06 ,  4D075AC09 ,  4D075AC88 ,  4D075AC95 ,  4D075BB42Z ,  4D075BB93X ,  4D075BB93Y ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DB14 ,  4D075DB31 ,  4D075DC22 ,  4D075EA21 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AA06 ,  4F041AB01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA13 ,  4F041BA32 ,  4F041BA34 ,  4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042AA07 ,  4F042AB00 ,  4F042BA06 ,  4F042BA07 ,  4F042BA25 ,  4F042CA01 ,  4F042CB03 ,  4F042CB08 ,  4F042CB10 ,  4F042DB41 ,  5F146AA31 ,  5F146JA01 ,  5F146JA22
引用特許:
審査官引用 (5件)
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