特許
J-GLOBAL ID:201503056341922320

粒径及び濃度測定のための検出スキーム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件): 平木 祐輔 ,  関谷 三男 ,  渡辺 敏章 ,  松丸 秀和 ,  今村 健一
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-544046
公開番号(公開出願番号):特表2015-500467
出願日: 2012年11月29日
公開日(公表日): 2015年01月05日
要約:
本発明は、粒径及び濃度を測定するシステム及び方法を提供する。集束され、統合され、構造化されたレーザビームを準備し、ビームと粒子をインタラクトさせ、インタラクション信号及び1単位時間あたりのビームと粒子の間のインタラクションの数を測定し、アルゴリズムを用いて、インタラクション信号を粒径にマッピングし、1単位時間あたりのインタラクションの数を濃度にマッピングする。【選択図】 図6
請求項(抜粋):
ガウスビームを生成するレーザと、 前記ガウスレーザビームを構造化された暗視野ビームに変換する手段と、 前記暗視野ビームを、照射されている前記暗視野ビームを通って移動する粒子にフォーカスするフォーカスレンズと、 一方が前記暗視野ビームの各強度ローブ上に配置される2つのディテクタと、を備える粒子監視システム。
IPC (3件):
G01N 15/02 ,  G01N 15/00 ,  G01N 15/14
FI (3件):
G01N15/02 C ,  G01N15/00 A ,  G01N15/14 D
引用特許:
審査官引用 (6件)
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引用文献:
審査官引用 (1件)
  • Singular beams in metrology and nanotechnology

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