レーザ光によるガラス基板加工方法及び加工装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-178974
公開番号（公開出願番号）：特開2015-048253
出願日： 2013年08月30日
公開日（公表日）： 2015年03月16日
要約：

【課題】所望の高さの凸部を、簡単にかつ精度よくガラス基板上に形成する。【解決手段】このガラス基板加工方法は、ガラス基板にレーザ光を照射して凸部を形成する方法であって、ガラス基板をワークテーブル上に載置する第1工程と、ガラス基板の一方側の主面から波長が2.7μm以上6.0μm以下のレーザ光を照射してガラス基板の主面に所定高さの凸部を形成する第2工程と、を備えている。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

ガラス基板にレーザ光を照射して凸部を形成するガラス基板加工方法であって、ガラス基板をワークテーブル上に載置する第1工程と、前記ガラス基板の一方側の主面から波長が2.7μm以上6.0μm以下のレーザ光を照射して前記ガラス基板の主面に所定高さの凸部を形成する第2工程と、を備えたレーザ光によるガラス基板加工方法。

IPC (4件)：

C03C 23/00 , B23K 26/00 , B23K 26/082 , B23K 26/04

FI (5件)：

C03C23/00 D , B23K26/00 G , B23K26/00 N , B23K26/08 B , B23K26/04 Z

Fターム (11件)：

4E068CA01 , 4E068CA02 , 4E068CA04 , 4E068CA09 , 4E068CA11 , 4E068CA15 , 4E068CE02 , 4E068CE04 , 4E068DB13 , 4G059AA08 , 4G059AC01

引用特許：

審査官引用 (4件)

ガラス突起スペーサを備えた真空絶縁ガラス窓
公報種別：公表公報出願番号：特願2011-535636 出願人：コーニングインコーポレイテッド
マイクロレンズの製造方法及び製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-170201 出願人：株式会社町田製作所
光学用ガラス基板およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-190943 出願人：独立行政法人産業技術総合研究所

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