特許
J-GLOBAL ID：201503063546839308

酸化セリウム系研磨材の再生方法

発明者：
岡 卓司

岡 卓司 について

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武田 勲

武田 勲 について

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田部 昌志

田部 昌志 について

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片山 裕貴

片山 裕貴 について


出願人/特許権者：
日本電気硝子株式会社

日本電気硝子株式会社 について


代理人 (2件)： 矢野 寿一郎 ,  岩本 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-170833
公開番号（公開出願番号）：特開2015-039727
出願日： 2013年08月20日
公開日（公表日）： 2015年03月02日
要約：
【課題】酸化セリウムを主成分とする酸化セリウム系研磨材により非晶質固体を研磨した際に、該非晶質固体から除去される非晶質成分が前記酸化セリウムの表面に付着することによって劣化した、酸化セリウム系研磨材を再生するための方法であって、最終的に再生される、再生酸化セリウム系研磨材の歩留まりが向上する、酸化セリウム系研磨材の再生方法を提供する。【解決手段】研磨後の劣化酸化セリウム系研磨材3Aを再生し、再生酸化セリウム系研磨材3Bを得る、酸化セリウム系研磨材の再生方法であって、前記劣化酸化セリウム系研磨材3Aと、アルカリ性の溶解剤7とを水5中にて混合してアルカリ処理し、再生酸化セリウム系研磨材3Bを含む水懸濁液11を得るアルカリ処理工程と、前記水懸濁液11を酸性溶液により中和する中和工程と、を備える。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
非晶質固体の研磨後の劣化酸化セリウム系研磨材を再生し、再生酸化セリウム系研磨材を得る、酸化セリウム系研磨材の再生方法であって、 前記劣化酸化セリウム系研磨材と、アルカリ性溶解剤とを水中にて混合してアルカリ処理し、再生酸化セリウム系研磨材を含む水懸濁液を得るアルカリ処理工程と、 前記水懸濁液を酸により中和する中和工程と、を備える、 ことを特徴とする酸化セリウム系研磨材の再生方法。
IPC (3件)：
B24B 55/12 ,  C09K 3/14 ,  B24B 57/02
FI (3件)：
B24B55/12 ,  C09K3/14 550D ,  B24B57/02
Fターム (3件)：
3C047GG14 ,  3C047GG15 ,  3C047GG17
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (1件)

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