特許
J-GLOBAL ID:201203055777450131
酸化セリウム系研磨材の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人 宮▲崎▼・目次特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-118654
公開番号(公開出願番号):特開2012-245582
出願日: 2011年05月27日
公開日(公表日): 2012年12月13日
要約:
【課題】非晶質固体が付着した酸化セリウム系研磨材から、酸化セリウム系研磨材を製造できる方法を提供する。【解決手段】非晶質固体が表面に付着した酸化セリウム系研磨材を含む懸濁液を遠心分離し、非晶質固体が表面に付着した酸化セリウム系研磨材を含む分離堆積物を得る工程を行う。非晶質固体の溶解剤と分離堆積物とを水中で混合することにより、酸化セリウム系研磨材の表面に付着した非晶質固体を溶解させる溶解工程を行う。【選択図】なし
請求項(抜粋):
酸化セリウム系研磨材と水とを用いて非晶質固体を研磨した際に得られる、非晶質固体が表面に付着した酸化セリウム系研磨材を含む懸濁液を遠心分離し、前記非晶質固体が表面に付着した酸化セリウム系研磨材を含む分離堆積物を得る工程と、
非晶質固体の溶解剤と前記分離堆積物とを水中で混合することにより、前記酸化セリウム系研磨材の表面に付着した非晶質固体を溶解させる溶解工程と、
を備える、酸化セリウム系研磨材の製造方法。
IPC (3件):
B24B 55/12
, C09K 3/14
, B24B 57/02
FI (3件):
B24B55/12
, C09K3/14 550D
, B24B57/02
Fターム (3件):
3C047GG14
, 3C047GG15
, 3C047GG17
引用特許:
審査官引用 (11件)
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砥粒回収方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-224434
出願人:三原菱重エンジニアリング株式会社
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使用済みCMPスラリの再生方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-305768
出願人:日本バルカー工業株式会社
-
基板の研磨方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2009-198770
出願人:日立化成工業株式会社
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