特許
J-GLOBAL ID：201503063979123625

セラミックヒータ及びその製法

発明者：
相川 賢一郎

相川 賢一郎 について

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▲のぼり▼ 和宏

▲のぼり▼ 和宏 について

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阿部 哲久

阿部 哲久 について


出願人/特許権者：
日本碍子株式会社

日本碍子株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人アイテック国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-250009
公開番号（公開出願番号）：特開2015-109139
出願日： 2013年12月03日
公開日（公表日）： 2015年06月11日
要約：
【課題】セラミック焼結体の一方の表面にヒータ電極を備えたセラミックヒータにおいて、均熱性を高くする。【解決手段】静電チャックヒータ20は、プラズマ処理を施すウエハWをウエハ載置面22aに吸着可能なセラミック焼結体22と、セラミック焼結体22の裏面に配置された冷却板30と、セラミック焼結体22と冷却板30とを接着する接着層40とを備えている。セラミック焼結体22のうちウエハ載置面22aとは反対側の表面22bには、ヒータ電極26が張り巡らされている。ヒータ電極26は、金属接合材を該金属接合材の液相線温度以下の温度に加熱した状態でセラミック焼結体22に加圧接合したものである。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
セラミック焼結体の片方の面にAlとMgを含む金属接合材を張り巡らし、該金属接合材を該金属接合材の液相線温度以下の温度に加熱した状態で前記セラミック焼結体に加圧接合することによりヒータ電極を形成する電極形成工程 を含むセラミックヒータの製法。
IPC (3件)：
H05B 3/06 ,  H05B 3/20 ,  H05B 3/74
FI (4件)：
H05B3/06 C ,  H05B3/20 305 ,  H05B3/20 328 ,  H05B3/74
Fターム (21件)：
3K034AA02 ,  3K034AA21 ,  3K034BB06 ,  3K034BB14 ,  3K034BC09 ,  3K034BC12 ,  3K034JA01 ,  3K034JA02 ,  3K092QA05 ,  3K092QB02 ,  3K092QB44 ,  3K092QB80 ,  3K092QC04 ,  3K092QC19 ,  3K092QC29 ,  3K092QC59 ,  3K092RF03 ,  3K092RF11 ,  3K092RF20 ,  3K092SS17 ,  3K092VV22
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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