特許
J-GLOBAL ID：200903059113700963

静電チャック

発明者：
小坂井 守

小坂井 守 について

, 
森谷 義明

森谷 義明 について


出願人/特許権者：
住友大阪セメント株式会社

住友大阪セメント株式会社 について


代理人 (7件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-143175
公開番号（公開出願番号）：特開2008-300491
出願日： 2007年05月30日
公開日（公表日）： 2008年12月11日
要約：
【課題】半導体ウェハ等の板状試料における面内温度分布が小さく、プラズマ印加に伴う経時的な温度変化の調整や広い温度範囲での温度の調整を行うことができ、局所的な温度制御も行うことができる静電チャックを提供する。【解決手段】板状試料を載置する載置面11aを有する載置板11と、この載置板11と一体化されて載置板11を支持する支持板12と、これら載置板11と支持板12との間に設けられた静電吸着用内部電極13とを備えた静電チャック部2と、この静電チャック部2に固定された冷却ベース部3とを備え、この静電チャック部2と冷却ベース部3との間にヒータ4を設け、このヒータ4を静電チャック部2に直接または厚みが0.5mm以下の中間層を介して接触させるとともに、冷却ベース部3に絶縁性の接着剤層5により固定した。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
板状試料を載置する載置面を有する載置板と、この載置板と一体化されて該載置板を支持する支持板と、これら載置板と支持板との間に設けられた静電吸着用内部電極とを備えた静電チャック部と、この静電チャック部に固定された冷却ベース部とを備えてなる静電チャックにおいて、 前記静電チャック部と前記冷却ベース部との間に加熱部材を設け、 この加熱部材を、前記静電チャック部に直接または厚みが0.5mm以下の中間層を介して接触させるとともに、前記冷却ベース部に絶縁性の接着剤層により固定してなることを特徴とする静電チャック。
IPC (2件)：
H01L 21/683 ,  H02N 13/00
FI (2件)：
H01L21/68 R ,  H02N13/00 D
Fターム (10件)：
5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA16 ,  5F031HA37 ,  5F031HA38 ,  5F031MA27 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32 ,  5F031PA11
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 静電チャック
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-218259   出願人：日本碍子株式会社
  • 基板保持装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-076775   出願人：住友大阪セメント株式会社
審査官引用 (10件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM