特許
J-GLOBAL ID：201503075253120013
ウェハ検査用に拡張された欠陥のサイジング範囲
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-556582
公開番号（公開出願番号）：特表2015-511401
出願日： 2013年02月01日
公開日（公表日）： 2015年04月16日
要約：
一実施形態は、基板を検査するように構成されたシステムに関する。このシステムは、アンチブルーミング機構を有さず、これにより画像センサの画素の容量が十分にいっぱいになると、過剰電荷がその画素から画像センサの一又は複数の隣接画素へ流れるように構成された画像センサを含む。加えて、このシステムは、画素と、その画素の過剰電荷が流れるその画素のすべての隣接画素によって生成される出力を使用してウェハ上の欠陥を検出するように構成されたコンピュータサブシステムを含む。
請求項（抜粋）：
ウェハを検査するように構成されたシステムであって、
光を前記ウェハに方向づけするように構成された照明サブシステムと、
ウェハの欠陥から散乱した光を検出し、前記散乱した光に応じて出力を生成するように構成され、さらに、アンチブルーミング機構を有さず、これにより画像センサの画素の容量が十分にいっぱいになると、前記画素から画像センサの一又は複数の隣接画素へ過剰電荷が流れるように構成された前記画像センサと、
前記出力を使用して前記ウェハ上の前記欠陥を検出し、画素と、前記画素の前記過剰電荷が流れる前記画素のすべての隣接画素によって生成される前記出力を使用して、前記ウェハ上の前記欠陥のサイズを求めるように構成されたコンピュータサブシステムと
を備える、ウェハを検査するように構成されたシステム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/66 J
, G01N21/956 A
2G051AA51
, 2G051AB01
, 2G051AB02
, 2G051BB01
, 2G051CA04
, 2G051CC09
, 2G051EC01
, 4M106AA01
, 4M106BA05
, 4M106CA38
, 4M106DB19
, 4M106DJ19
, 4M106DJ20
