特許
J-GLOBAL ID：201003019917259975
光検出器を非線形領域へ強制することにより検査システムの検出範囲を拡張する検査システムと方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-509444
公開番号（公開出願番号）：特表2010-528287
出願日： 2008年05月13日
公開日（公表日）： 2010年08月19日
要約：
【解決手段】本発明は、試料の検査に用いられる検査システムの検出範囲を拡張する検査システムと方法に関する。一実施態様に準じ、検査システムは、散乱光を受け取り、出力信号に変換するように結合された複数のステージを有する光検出器と、少なくとも一つのステージを飽和させることで、それによって光検出器が非線形領域で作動するように強制し、光検出器の検出範囲(従って、検査システムの検出範囲)を拡張するように接続された電圧分割ネットワークを備え得る。このことは、光検出器が非線形的に作動することを強制する。しかしながら、測定の不正確さは、少なくとも一つのステージを意図的に飽和させることで生成され得るあらゆる非線形効果を除去するように光検出器の出力を較正することで避けられる。一例に於いて、光検出器の出力を散乱光の実際量に変換するように較正中に値表を生成可能である。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
検査システムであって、
試料へ光を指向するように設定された照明サブシステムと、
前記試料から散乱される光を検出するように設定された検出サブシステムと、
を備え、
該検出サブシステムが、
前記散乱光を受け取り、出力信号に変換するように結合された複数のステージを有する光検出器と、
前記複数のステージのうちの少なくとも一つのステージを飽和させることで前記光検出器の検出範囲を拡張するように接続された電圧分割ネットワークと、
を備えることを特徴とする検査システム。
IPC (3件)：
G01N 21/956
, G01N 21/93
, H01L 21/66
G01N21/956 A
, G01N21/93
, H01L21/66 J
2G051AA51
, 2G051AA56
, 2G051AB01
, 2G051AB02
, 2G051AC21
, 2G051BA10
, 2G051BA11
, 2G051CA02
, 2G051CA07
, 2G051CB05
, 2G051EA12
, 2G051EA23
, 2G051EA24
, 2G051EA27
, 2G051EC06
, 4M106AA01
, 4M106BA02
, 4M106BA05
, 4M106CA39
, 4M106DB02
, 4M106DB08
, 4M106DB19
, 4M106DJ19
