特許

J-GLOBAL ID：201503083381873272

有機EL素子製造方法、有機EL素子、表示装置及び照明装置

発明者： 長尾 茂樹 ,  山平 瑞喜
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-129687
公開番号（公開出願番号）：特開2015-005396
出願日： 2013年06月20日
公開日（公表日）： 2015年01月08日
要約：

【課題】本発明は、塗布ヘッドの幅が被塗布領域よりも狭く、被塗布領域を複数の領域に分けて塗布する場合において、塗布境界部が平坦である膜を効率よく形成する手段を提供する。【解決手段】発光層形成用組成物を、基板上の被塗布領域に塗布して発光層を形成する発光層形成工程を含む有機EL素子製造方法であって、該発光層形成用組成物がポリシロキサンを含み、該発光層形成工程は、該発光層形成用組成物を吐出するノズルを有する塗布ヘッドを、第1の走査方向に走査させながら、該塗布領域内の第1の領域に該発光層形成用組成物を吐出する第1工程と、該被塗布領域内の該第1の領域に隣接する第2の領域において、該塗布ヘッドを、該第1の走査方向と同じ方向、または該第1の走査方向と180度逆向きの方向に走査させながら、該第2の領域に該発光層形成用組成物を吐出する第2工程をこの順に含むことを特徴とする、有機EL素子製造方法。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

低分子電荷輸送材料、低分子発光材料および溶媒を含む発光層形成用組成物を、基板上の被塗布領域に塗布して発光層を形成する発光層形成工程を含む有機EL素子製造方法であって、 該発光層形成用組成物が更にポリシロキサンを含み、 該発光層形成工程は、 該発光層形成用組成物を吐出するノズルを有する塗布ヘッドを、第1の走査方向に走査させながら、該被塗布領域内の第1の領域に該発光層形成用組成物を吐出する第1工程と、 該被塗布領域内の、該第1の領域に隣接する第2の領域において、該第1の領域と該第2の領域の境界の少なくとも一部が発光領域であって、 該塗布ヘッドを、該第1の走査方向と同じ方向、または該第1の走査方向と180度逆向きの方向に走査させながら、該第2の領域に該発光層形成用組成物を吐出する第2工程をこの順に含むことを特徴とする、有機EL素子製造方法。

IPC (4件)：

H05B 33/10 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/22 ,  H05B 33/12

FI (4件)：

H05B33/10 ,  H05B33/14 B ,  H05B33/22 Z ,  H05B33/12 B

Fターム (18件)：

3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107BB02 ,  3K107CC45 ,  3K107DD53 ,  3K107DD59 ,  3K107DD60 ,  3K107DD68 ,  3K107DD69 ,  3K107DD70 ,  3K107DD89 ,  3K107FF14 ,  3K107FF15 ,  3K107FF18 ,  3K107GG06 ,  3K107GG08 ,  3K107GG28 ,  3K107GG36

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 有機ELディスプレイの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-201502   出願人：パナソニック株式会社
• 薄膜形成方法、薄膜形成装置、光学素子、有機エレクトロルミネッセンス素子、半導体素子および電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-266691   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 有機EL層形成用塗液および有機EL素子ならびにその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-243115   出願人：シャープ株式会社
• 液体噴射装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-056026   出願人：セイコーエプソン株式会社