プラズマシミュレーション方法及びプラズマシミュレーションプログラム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：長谷川芳樹 , 黒木義樹 , 柳康樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-124691
公開番号（公開出願番号）：特開2015-001769
出願日： 2013年06月13日
公開日（公表日）： 2015年01月05日
要約：

【課題】計算コストを低減することができるプラズマシミュレーション方法及びプラズマシミュレーションプログラムを提供する。【解決手段】粒子モデル及び流体モデルを用いたプラズマシミュレーション方法であって、粒子モデルを用いてイオン及び中性粒子に関する計算を行う粒子モデル計算ステップと、流体モデルを用いて電子に関する計算を行う流体モデル計算ステップと、を備えている。流体モデル計算ステップは、電子流体方程式を用いて電子温度及び電位を求める第1ステップと、自己誘導磁場を求める第2ステップと、移動度を更新する第3ステップと、を有している。ここで、第2ステップにおける計算領域は、第1及び第3ステップにおける計算領域よりも大きく設定されている。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

粒子モデル及び流体モデルを用いたプラズマシミュレーション方法であって、前記粒子モデルを用いて、イオン及び中性粒子に関する計算を行う粒子モデル計算ステップと、前記流体モデルを用いて、電子に関する計算を行う流体モデル計算ステップと、を備え、前記流体モデル計算ステップは、電子流体方程式を用いて電子温度及び電位を求める第1ステップと、自己誘導磁場を求める第2ステップと、移動度を更新する第3ステップと、を有し、前記第2ステップにおける計算領域は、前記第1及び第3ステップにおける計算領域よりも大きい、プラズマシミュレーション方法。

IPC (2件)：

G06F 17/50 , G06F 19/00

FI (2件)：

G06F17/50 612G , G06F19/00 110

Fターム (3件)：

5B046JA04 , 5B046JA09 , 5B046JA10

引用特許：

審査官引用 (3件)

シミュレーション方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-007798 出願人：株式会社東芝
特開平3-116385
被膜の形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-042550 出願人：日本板硝子株式会社

引用文献：

審査官引用 (2件)

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