特許

J-GLOBAL ID：201503092263172706

研磨テーブルおよび研磨装置

発明者： 坂田 桂介
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (2件)： 渡邉 勇 ,  廣澤 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-247215
公開番号（公開出願番号）：特開2015-104769
出願日： 2013年11月29日
公開日（公表日）： 2015年06月08日
要約：

【課題】基板を押圧して研磨する研磨面を有した研磨テーブルに接触して研磨テーブルおよび研磨面の温度調節を行う温度調節部材を設置することにより、研磨テーブルおよび研磨面を直接に冷却又は加熱することができる研磨テーブルおよび該研磨テーブルを備えた研磨装置を提供する。【解決手段】基板を押圧して研磨する研磨面2aを有した研磨テーブル1において、研磨テーブル1に接触して設置され、研磨テーブル1から吸熱又は研磨テーブル1に放熱することにより研磨面2aの温度調節を行う温度調節部材17A,17B,17Cを備えた。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基板を押圧して研磨する研磨面を有した研磨テーブルにおいて、 前記研磨テーブルに接触して設置され、研磨テーブルから吸熱又は研磨テーブルに放熱することにより前記研磨面の温度調節を行う温度調節部材を備えたことを特徴とする研磨テーブル。

IPC (3件)：

B24B 37/20 ,  B24B 37/015 ,  H01L 21/304

FI (4件)：

B24B37/04 Y ,  B24B37/00 J ,  H01L21/304 622F ,  H01L21/304 622R

Fターム (16件)：

3C058AA07 ,  3C058AA14 ,  3C058BA02 ,  3C058BA08 ,  3C058BB02 ,  3C058BC02 ,  3C058CA05 ,  3C058CB05 ,  3C058CB06 ,  3C058DA17 ,  5F057AA33 ,  5F057AA45 ,  5F057BA11 ,  5F057DA02 ,  5F057EB22 ,  5F057GA04

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 半導体製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-027809   出願人：株式会社東芝
• 研磨装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-267873   出願人：浜井産業株式会社