特許
J-GLOBAL ID：201503093153289000
薄膜付針状体パッド、針状体パッドの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
廣瀬 一
, 宮坂 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-240898
公開番号（公開出願番号）：特開2015-100401
出願日： 2013年11月21日
公開日（公表日）： 2015年06月04日
要約：
【課題】研削加工や切削加工等の機械加工により針状体を製造する場合に、突起部の先端等に発生する欠けやバリ等の形状不具合を抑制することが可能な、針状体及び針状体の製造方法を提供する。【解決手段】基板部11と、基板部11の少なくとも一方の面に形成された突起部12と、基板部11の突起部12を形成した面に形成されている薄膜13を備え、突起部12は、カーボンからなる針状体である薄膜付針状体パッド1。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板部と、
前記基板部の少なくとも一方の面に形成された突起部と、
前記基板部の前記突起部を形成した面に形成した薄膜と、を備え、
前記突起部は、カーボンからなる針状体であることを特徴とする薄膜付針状体パッド。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
4C167AA71
, 4C167BB05
, 4C167CC01
, 4C167GG21
, 4C167GG26
