特許
J-GLOBAL ID：201503094458401575
検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
保坂 丈世
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-236634
公開番号（公開出願番号）：特開2015-096816
出願日： 2013年11月15日
公開日（公表日）： 2015年05月21日
要約：
【課題】検査が終了した被検査体を、検査に関する情報に基づいて複数の待機位置のいずれかに移動させるように構成された検査装置を提供する。【解決手段】検査装置200は、被検査体である基板2の画像データを撮像する撮像ユニット80と、この画像データに基づき基板2の検査を行う検査部であるスレーブPC140と、基板2を撮像ユニット80に対して相対移動させる基板搬送テーブル50と、基板2を基板搬送テーブル50に載置する待機位置と、画像データを取得する検査位置とを含む所定の位置に移動させるマスタPC160と、を有し、マスタPC160は、検査に関する情報に基づき、基板2を検査位置から、第1の待機位置又は第2の待機位置に移動させる。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
被検査体の画像データを取得する撮像部と、
前記撮像部で取得された前記画像データに基づき前記被検査体の検査を行う検査部と、
作業者によって載置された前記被検査体を前記撮像部に対して相対移動させる搬送部と、を備えた検査装置であって、
前記搬送部を前記撮像部で前記被検査体を走査する方向に相対移動させることにより、前記被検査体を前記搬送部に載置する待機位置と、前記被検査体の前記画像データを取得する検査位置とを含む所定の位置に移動させる御部部を有し、
前記待機位置は、前記撮像部が前記被検査体を走査する方向と略直交する方向のいずれか一方に位置する第1の待機位置と、他方に位置する第2の待機位置と、を含み、
前記制御部は、検査に関する情報に基づき、前記搬送部により前記被検査体を前記検査位置から、前記第1の待機位置又は前記第2の待機位置に移動させるように構成されていることを特徴とする検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (10件)：
2G051AA65
, 2G051BA04
, 2G051BB02
, 2G051BB03
, 2G051CA03
, 2G051CA07
, 2G051CB01
, 2G051CC11
, 2G051DA06
, 2G051DA07
出願人引用 (3件)
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外観検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2004-374758
出願人：株式会社サキコーポレーション
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基板検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-352546
出願人：オムロン株式会社
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外観検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2006-079488
出願人：株式会社メガトレード
審査官引用 (3件)
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外観検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2004-374758
出願人：株式会社サキコーポレーション
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基板検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-352546
出願人：オムロン株式会社
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外観検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2006-079488
出願人：株式会社メガトレード
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