特許
J-GLOBAL ID:200903077839606026
外観検査装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
森下 賢樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-374758
公開番号(公開出願番号):特開2006-184022
出願日: 2004年12月24日
公開日(公表日): 2006年07月13日
要約:
【課題】 被検査体を同時に複数の方向から検査可能な外観検査装置の提供。【解決手段】 基板2の外観を検査するための外観検査装置200は、基板2の表面を撮像する表面側撮像ユニット80aと、表面側撮像ユニット80aに対応して設けられて基板2の画像データに基づいて検査を行うスレーブPC140aおよび140bと、基板2の裏面を撮像する裏面側撮像ユニット80bと、裏面側撮像ユニット80bに対応して設けられて基板2の画像データに基づいて検査を行うスレーブPC140cおよび140dとを備え、各スレーブPC140a〜140dは、基板2に実装された各部品についての表面用検査データと裏面用検査データとを格納したライブラリ143a〜143dを有しており、基板2の画像データと表面用および裏面用検査データとに基づいて基板2の検査を行う。【選択図】 図4
請求項(抜粋):
被検査体の外観を検査するための外観検査装置において、
前記被検査体を互いに異なる方向からそれぞれ撮像する複数の撮像手段と、
前記複数の撮像手段を用いて得られる前記被検査体の画像データに基づいて被検査体の検査を行う複数の検査手段とを備え、
前記被検査体に含まれる少なくとも1つの部品について、前記複数の撮像手段による撮像方向に対応した複数の検査データが用意されており、前記検査手段は、前記被検査体の前記画像データと前記検査データとに基づいて前記被検査体の検査を行うことを特徴とする外観検査装置。
IPC (2件):
FI (2件):
G01N21/956 B
, H05K13/08 U
Fターム (10件):
2G051AA65
, 2G051AB14
, 2G051BA01
, 2G051CA03
, 2G051CA07
, 2G051DA05
, 2G051EA12
, 2G051EA14
, 2G051EA21
, 2G051FA01
引用特許:
出願人引用 (3件)
審査官引用 (12件)
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特開平3-206907
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特開平3-072203
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特開昭62-215855
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特開平3-206907
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特開平3-072203
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特開昭62-215855
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検査基体の面欠陥検査方法及び装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-318515
出願人:三菱化学株式会社
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表示装置の検査装置および検査方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-080067
出願人:シャープ株式会社
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漏洩電流検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-276496
出願人:株式会社東芝
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特開平1-311258
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特開平1-109732
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半田付け状態検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-118536
出願人:三菱電機株式会社
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