特許
J-GLOBAL ID：201503096252298029
直接粒子ビーム蒸着によって得られる液晶用配向フィルム
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
伊藤 克博
, 小野 暁子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-225966
公開番号（公開出願番号）：特開2014-074912
特許番号：特許第5714682号
出願日： 2013年10月30日
公開日（公表日）： 2014年04月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 液晶または反応性メソゲンを配向させるための配向フィルムを基板上に調製する方法であって、1〜100eVの主粒子エネルギーを有する弱く加速された粒子ビーム(ただし、該粒子ビームはグロー放電において形成される。)に、直接またはマスクを介して、該基板を曝露し、それにより、該基板上に粒子の蒸着層を提供する工程を含み、
ただし、前記配向フィルムは、a-CH、a-CHF、a-CHN、a-SiOx、a-SiNx、a-SiOxNy、a-SiOxHyCzFkから成る群より選択される材料の層である方法。
IPC (4件)：
G02F 1/1337 ( 200 6.01)
, G02B 5/30 ( 200 6.01)
, G02F 1/1336 ( 200 6.01)
, G02B 1/11 ( 201 5.01)
G02F 1/133
, G02B 5/30
, G02F 1/133 3
, G02B 1/10 A
出願人引用 (10件)
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液晶光学装置の製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2007-316804
出願人：キヤノン株式会社
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配向層形成装置および配向層形成方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2005-358324
出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション
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配向膜形成方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-192436
出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション
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審査官引用 (11件)
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