特許

J-GLOBAL ID：201503096492770914

ファブリペロー干渉フィルタ

発明者： 柴山 勝己 ,  笠原 隆 ,  廣瀬 真樹 ,  川合 敏光
出願人/特許権者： 浜松ホトニクス株式会社
代理人 (4件)： 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  石田 悟 ,  柴山 健一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-138867
公開番号（公開出願番号）：特開2015-011311
出願日： 2013年07月02日
公開日（公表日）： 2015年01月19日
要約：

【課題】所望の波長を有する光を好適に透過させることができるファブリペロー干渉フィルタを提供する。【解決手段】ファブリペロー干渉フィルタ10Aは、第1ミラー31と、空隙Sを介して第1ミラー31と対向する第2ミラー41と、光透過領域11を囲むように第1ミラー31に形成された第1電極17と、光透過領域11を含むように第1ミラー31に形成された第2電極18と、第1電極17及び第2電極18と対向するように第2ミラー41に形成され、第2電極18と同電位に接続された第3電極19と、を備え、第2電極18は、第1ミラー31と第2ミラー41とが対向する対向方向Dにおいて、第1電極17に対して第3電極19側又はその反対側に位置している。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

第1ミラーと、 空隙を介して前記第1ミラーと対向する第2ミラーと、 光透過領域を囲むように前記第1ミラーに形成された第1電極と、 前記光透過領域を含むように前記第1ミラーに形成された第2電極と、 前記第1電極及び前記第2電極と対向するように前記第2ミラーに形成され、前記第2電極と同電位に接続された第3電極と、を備え、 前記第2電極は、前記第1ミラーと前記第2ミラーとが対向する対向方向において、前記第1電極に対して前記第3電極側又はその反対側に位置している、ファブリペロー干渉フィルタ。

IPC (1件)：

G02B 26/00

FI (1件)：

G02B26/00

Fターム (8件)：

2H141MA21 ,  2H141MA27 ,  2H141MB28 ,  2H141MC06 ,  2H141MD02 ,  2H141MD38 ,  2H141MF02 ,  2H141MZ20

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 光学材料分析に用いる表面ミクロ機械加工技術によって製造される電気同調可能型ファブリ・ペロ干渉計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-026497   出願人：ヴァイサラオイ
• 波長可変フィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-188378   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-012199   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-087225   出願人：セイコーエプソン株式会社