特許
J-GLOBAL ID：201503097011767741
2波長正弦波位相変調干渉計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-213751
公開番号（公開出願番号）：特開2015-075461
出願日： 2013年10月11日
公開日（公表日）： 2015年04月20日
要約：
【課題】2波長干渉計において実用的な高精度の測定精度を実現することができる2波長正弦波位相変調干渉計を提供する。【解決手段】2波長光生成部10は、第1波長λ1と第2波長λ2の2つの波長の位相変調したレーザー光を干渉部12に送出する。干渉部12は、第1波長光と第2波長光の各々を測定光と参照光とに分割し、測定ターゲット20に向けて投光し、測定ターゲット20で反射した第1測定光と第2測定光の各々を入出力部2から取り込み、第1測定光と第1参照光とを干渉させた第1干渉光と、第2測定光と第2参照光とを干渉させた第2干渉光とを検出部14に送出する。検出部14は、第1干渉光と第2干渉光の各々を第1干渉信号と第2干渉信号として電気的に検出し、検出した第1干渉信号及び第2干渉信号を演算部16に与える。演算部16は、第1干渉信号と第2干渉信号とに基づいて測定ターゲット20までの幾何学的距離Dを算出する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
角周波数ωmの正弦波により位相変調した第1波長λ1の第1光波を生成する第1光波生成部と、
第1波長λ1と異なる第2波長λ2の第2光波であって、前記角周波数ωmの正弦波により位相変調した第2光波を生成する第2光波生成部と、
前記第1光波生成部により生成された第1光波を第1測定光と第1参照光とに分割する第1分割部と、
前記第2光波生成部により生成された第2光波を第2測定光と第2参照光とに分割する第2分割部と、
前記第1分割部により分割された後、測定対象に投光されて反射した第1測定光と、前記第1分割部により分割された第1参照光とを干渉させた第1干渉光の光強度を第1干渉信号として検出する第1干渉信号検出部と、
前記第2分割部により分割された後、前記測定対象に投光されて反射した第2測定光と、前記第2分割部により分割された第2参照光とを干渉させた第2干渉光の光強度を第2干渉信号として検出する第2干渉信号検出部と、
前記第1干渉信号検出部により検出された第1干渉信号に基づいて、第1測定光と第1参照光との位相差φ1の変化量Δφ1に対応する光学的距離D1を前記測定対象の基準位置からの距離として算出する第1光学的距離算出手段と、
前記第2干渉信号検出部により検出された第2干渉信号に基づいて、第2測定光と第2参照光との位相差φ2の変化量Δφ2に対応する光学的距離D2を前記測定対象の基準位置からの距離として算出する第2光学的距離算出手段と、
前記第1光学的距離算出手段と前記第2光学的距離算出手段とにより算出された光学的距離D1と光学的距離D2とに基づいて、前記測定対象の基準位置からの幾何学的距離Dを算出する幾何学的距離算出手段と、
を備えた2波長正弦波位相変調干渉計。
IPC (3件)：
G01B 9/02
, G01B 11/00
, G01S 17/08
G01B9/02
, G01B11/00 G
, G01S17/08
2F064AA01
, 2F064EE01
, 2F064GG02
, 2F064GG11
, 2F064GG16
, 2F064GG22
, 2F064GG24
, 2F064GG51
, 2F064GG68
, 2F064HH01
, 2F064HH06
, 2F064JJ00
, 2F064JJ01
, 2F065AA02
, 2F065FF52
, 2F065JJ01
, 2F065JJ05
, 2F065LL02
, 2F065LL17
, 2F065LL20
, 2F065LL53
, 5J084AA05
, 5J084AD08
, 5J084BA04
, 5J084BA21
, 5J084BA46
, 5J084BA51
, 5J084BA56
, 5J084BA57
, 5J084BB04
, 5J084BB14
, 5J084BB20
, 5J084BB24
, 5J084BB31
, 5J084CA34
, 5J084CA49
, 5J084CA53
, 5J084DA01
, 5J084EA01
, 5J084EA12
