特許
J-GLOBAL ID：201503097399749286

誘導慣性センサアーキテクチャ及びパッケージビルドアップ層の製造

発明者：
マー,チーン

マー,チーン について

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イード,フェラス

イード,フェラス について

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リン,ケヴィン エル.

リン,ケヴィン エル. について

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スワン,ジョーハナ エム.

スワン,ジョーハナ エム. について

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テー,ウォーン ホーン

テー,ウォーン ホーン について

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ラオ,ヴァルリ アール.

ラオ,ヴァルリ アール. について


出願人/特許権者：
インテル コーポレイション

インテル コーポレイション について


代理人 (3件)： 伊東 忠重 ,  伊東 忠彦 ,  大貫 進介
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-556840
公開番号（公開出願番号）：特表2015-509585
出願日： 2013年06月19日
公開日（公表日）： 2015年03月30日
要約：
本発明は磁気駆動及び/又はセンスアーキテクチャを用いた誘導慣性センサに関する。実施形態において、並進ジャイロスコープは、磁場の存在下でコイルを通して駆動された時変電流の関数として、第1の次元で振動するように作られた導電性コイルを利用する。センスコイルは第2の次元における角速度の関数として変化するインダクタンスを記録する。実施形態において、角速度の関数として、お互いにずれるように振動しているコイルが第1及び第2の相互インダクタンスをセンスコイルに発生させる。実施形態において、第2の次元における角速度の関数として、一対の蛇行コイルと連動した自己インダクタンスが変化する。実施形態において、パッケージビルドアップ層が誘導慣性センサを作成するために用いられ、モバイルデバイスなどのスモールフォームファクターコンピューティングプラットフォームに有益なパッケージレベルの集積慣性感知を可能にする。
請求項（抜粋）：
磁石を含む基板と、 前記基板上方かつ前記磁石の磁場内に配置される駆動コイルであり、前記駆動コイルを流れる時変電流の関数として、前記基板に対して第1の次元において振動する駆動コイルと、 前記基板上に配置されかつ前記駆動コイルに対して位置づけされ、前記第1の次元に対して直交する第2の次元内の角速度の関数として変化するインダクタンスを記録する少なくとも1つのセンスコイルと、 を含むジャイロスコープ。
IPC (5件)：
G01C 19/575 ,  G01C 19/576 ,  H01L 29/84 ,  B81B 3/00 ,  B81C 3/00
FI (5件)：
G01C19/56 255 ,  G01C19/56 269 ,  H01L29/84 Z ,  B81B3/00 ,  B81C3/00
Fターム (38件)：
2F105AA10 ,  2F105BB13 ,  2F105CC04 ,  2F105CD01 ,  2F105CD07 ,  3C081AA11 ,  3C081BA22 ,  3C081BA30 ,  3C081BA32 ,  3C081BA33 ,  3C081BA44 ,  3C081BA48 ,  3C081BA54 ,  3C081CA03 ,  3C081CA05 ,  3C081CA14 ,  3C081CA26 ,  3C081DA03 ,  3C081DA05 ,  3C081DA06 ,  3C081DA10 ,  3C081DA11 ,  3C081DA27 ,  3C081EA02 ,  4M112AA02 ,  4M112BA10 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA31 ,  4M112CA33 ,  4M112DA08 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA11 ,  4M112EA13 ,  4M112EA14 ,  4M112FA20 ,  4M112GA01
引用特許：
出願人引用 (7件)
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