特許
J-GLOBAL ID：201503097828885541
インプリント製法に使用される重合体スタンプの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
勝沼 宏仁
, 中村 行孝
, 横田 修孝
, 浅野 真理
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-119172
公開番号（公開出願番号）：特開2013-233807
特許番号：特許第5646692号
出願日： 2013年06月05日
公開日（公表日）： 2013年11月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 パターンが重合体スタンプから物体表面に転写されるインプリント製法に使用される前記重合体スタンプを製造する方法であって、
一種以上の環状オレフィン共重合体(COC)を含んでなる材料から製造された重合体フィルムを準備し、
前記重合体フィルムの表面に、テンプレートにより構造化されたパターンをインプリントして、表面上に構造化されたパターンが形成された重合体スタンプを製造する、
ことを含んでなり、
前記テンプレート表面の表面張力σ固体(テンプレート材料)が、液体状態にある前記重合体フィルムの表面張力σ液体(重合体材料)よりも小さく、且つ、固体状態にある前記重合体フィルムの表面張力σ固体(重合体フィルム)が、前記物体の表面張力σ液体(レジスト材料)よりも小さい、方法。
IPC (3件)：
B29C 59/02 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
, B29C 33/38 ( 200 6.01)
B29C 59/02 ZNM B
, H01L 21/30 502 D
, B29C 33/38
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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