特許
J-GLOBAL ID：201503099562519040
撮像装置及び撮像方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
特許業務法人スズエ国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-236685
公開番号（公開出願番号）：特開2015-096822
出願日： 2013年11月15日
公開日（公表日）： 2015年05月21日
要約：
【課題】高精度且つ短時間で撮像を行うことが可能な撮像装置を提供する。【解決手段】実施形態に係る撮像装置は、照明用の光源11と、光源からの照明光によって照明される撮像対象が載置されるステージ13と、ステージ上に載置された撮像対象12に光源からの照明光を供給するために設けられ、第1の軸の方向の倍率が第1の軸の方向に垂直な第2の軸の方向の倍率よりも大きくなるように構成された臨界照明光学系14及び15と、ステージ上に載置され且つ臨界照明光学系を用いて照明された撮像対象の像を結像させるために設けられた結像光学系17及び18と、結像光学系によって結像された撮像対象の像を検出するものであって、第1の軸の方向における検出領域の長さが第2の軸の方向における検出領域の長さよりも長くなるように構成された検出器19とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
照明用の光源と、
前記光源からの照明光によって照明される撮像対象が載置されるステージと、
前記ステージ上に載置された撮像対象に前記光源からの照明光を供給するために設けられ、第1の軸の方向の倍率が第1の軸の方向に垂直な第2の軸の方向の倍率よりも大きくなるように構成された臨界照明光学系と、
前記ステージ上に載置され且つ前記臨界照明光学系を用いて照明された前記撮像対象の像を結像させるために設けられた結像光学系と、
前記結像光学系によって結像された前記撮像対象の像を検出するものであって、前記第1の軸の方向における検出領域の長さが前記第2の軸の方向における検出領域の長さよりも長くなるように構成された検出器と、
を備えたことを特徴とする撮像装置。
IPC (3件)：
G01N 21/956
, H01L 21/027
, G03F 1/84
G01N21/956 A
, H01L21/30 531M
, G03F1/84
2G051AA56
, 2G051AB02
, 2G051BA05
, 2G051BB11
, 2G051CA03
, 2G051CB01
, 2G051DA05
, 2G051EA23
, 2G051ED07
, 2H095BA10
, 2H095BD02
, 2H095BD19
, 2H195BA10
, 2H195BD02
, 2H195BD19
, 2H195CA11
, 2H195CA22
, 5F146GA21
, 5F146GA28
, 5F146GD11
, 5F146GD22
出願人引用 (3件)
-
パターン検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-152303
出願人：大日本スクリーン製造株式会社
-
欠陥検査装置およびその方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2006-049488
出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
-
自動高速光学検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-279721
出願人：ケイエルエイインスツルメンツコーポレーション
審査官引用 (3件)
-
パターン検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-152303
出願人：大日本スクリーン製造株式会社
-
欠陥検査装置およびその方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2006-049488
出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
-
自動高速光学検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-279721
出願人：ケイエルエイインスツルメンツコーポレーション
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