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J-GLOBAL ID：201602211713855926   整理番号：16A0296807

微小試験片を用いた銅単結晶の結晶塑性特性評価手法の開発

著者 (19件)： 小岩康三 (名古屋工大) ,  小岩康三 (科学技術振興機構) ,  大宮正毅 (科学技術振興機構) ,  大宮正毅 (慶応大) ,  CHEN Chuantong (名古屋工大) ,  宍戸信之 (名古屋工大) ,  宍戸信之 (科学技術振興機構) ,  神谷庄司 (名古屋工大) ,  神谷庄司 (科学技術振興機構) ,  佐藤尚 (名古屋工大) ,  佐藤尚 (科学技術振興機構) ,  西田政弘 (名古屋工大) ,  西田政弘 (科学技術振興機構) ,  鈴木貴志 (富士通研) ,  中村友二 (富士通研) ,  鈴木俊明 (科学技術振興機構) ,  鈴木俊明 (日本電子) ,  野久尾毅 (科学技術振興機構) ,  野久尾毅 (日本電子)
資料名： 日本機械学会M&M材料力学カンファレンス(CD-ROM)  (日本機械学会M&M材料力学カンファレンス講演論文集(CD-ROM))
巻： 2014  ページ： ROMBUNNO.OS1108  発行年： 2014年07月17日 
JST資料番号： L0191B  ISSN： 2424-2845  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： LSIの機械的信頼性を確保するためには,ミクロスケールの銅配線における銅の結晶塑性特性が必要となる。しかし,引張・圧縮等の従来の手法では,微細な試験片において急激なすべりが発生し連続した特性が得られなかった。そのため本研究では,一軸圧縮のみで行えるねじり試験を開発し,実験およびシミュレーションを用いて結晶塑性パラメータを逆問題で解析することで銅の結晶塑性特性を同定した。(著者抄録)

シソーラス用語： *結晶 ,  *塑性 ,  *キャラクタリゼーション ,  *LSI【IC】 ,  *ねじり試験
準シソーラス用語： 結晶塑性 ,  特性評価

分類 (2件)： 結晶結合  (BK05020K) ,  金属組織観察法  (WB01010R)

タイトルに関連する用語 (8件)： 微小 ,  試験片 ,  銅 ,  単結晶 ,  結晶塑性 ,  特性評価 ,  手法 ,  開発