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J-GLOBAL ID：201602216417962023   整理番号：16A0689388

水溶液中のアスコルビン酸を利用した低電気抵抗のCu薄膜に用いるCuミクロ/ナノ粒子のグリーン合成

Green synthesis of Cu micro/nanoparticles for low-resistivity Cu thin films using ascorbic acid in aqueous solution

著者 (4件)： Yokoyama Shun (Graduate School of Environmental Studies, Tohoku University, Japan. [e-mail]) ,  Motomiya Kenichi ,  Takahashi Hideyuki ,  Tohji Kazuyuki
資料名： Journal of Materials Chemistry C. Materials for Optical, Magnetic and Electronic Devices  (Journal of Materials Chemistry C. Materials for Optical, Magnetic and Electronic Devices)
巻： 4  号： 31  ページ： 7494-7500  発行年： 2016年08月21日 
JST資料番号： W2383A  ISSN： 2050-7526  CODEN： JMCCCX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノメータおよびマイクロメータサイズのCu粒子を,通常用いられる毒性の有る還元剤の代替還元剤としての化学的還元性水性Cu-クエン酸錯体により,溶液100%の収率で合成した。表面分析から,Cuナノ粒子の表面をクエン酸で調整し,Naイオンは不純物として表面上に残存していることが分かった。表面酸化物層よりもむしろ不純物はCuナノ粒子の焼結を防ぐので,Cuナノ粒子を用いて調製された薄膜の固有抵抗を,不純物数を減少させることで低減させた。また,Cuナノ粒子とCuマイクロ粒子を混合することにより得られた十分充填された粒子構造は焼結を促進した。Cuナノ粒子を用いて,Arガス気流下の300°Cでの熱処理で調製されたCu膜の固有抵抗を,表面上のNaイオン数を減らし,Cu NPとCuマイクロ粒子を混合することにより,470から8.2μΩ cmまで改善した。Copyright 2016 Royal Society of Chemistry All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST

シソーラス用語： *銅錯体 ,  水溶液 ,  ポリオール ,  ラクトン ,  *第二アルコール ,  *金属薄膜 ,  *銅 ,  微粒子 ,  ナノ粒子 ,  *グリーンケミストリー ,  単位 ,  長さ ,  マイクロメータ ,  還元剤 ,  収率 ,  表面分析 ,  カチオン ,  ナトリウム化合物 ,  金属イオン ,  不純物 ,  焼結 ,  *電気抵抗率 ,  *数 ,  熱処理 ,  X線回折 ,  走査電子顕微鏡 ,  粒径 ,  ζ電位 ,  温度依存性 ,  pH依存性 ,  赤外吸収スペクトル ,  水溶性ビタミン
準シソーラス用語： FTIRスペクトル ,  *グリーン合成 ,  ナトリウムイオン ,  ナノメータ ,  ミクロ粒子 ,  *固有抵抗 ,  *銅薄膜 ,  *不純物数

分類 (5件)： 固体デバイス一般  (NC03010Z) ,  第11族,第12族元素の錯体  (CE01050Y) ,  脂肪族アルコール  (CF03090H) ,  無機化合物一般及び元素  (CD01010D) ,  金属薄膜  (BK14030T)

物質索引 (1件)： アスコルビン酸

タイトルに関連する用語 (7件)： 水溶液 ,  アスコルビン酸 ,  電気抵抗 ,  Cu ,  薄膜 ,  ナノ粒子 ,  グリーン