抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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トランジスタの微細化に伴って,近年ランダムテレグラフノイズ(RTN)というトランジスタの動作電流が不規則に揺らぐ現象の影響が顕著になってきている。RTNは,CMOS(相補型金属酸化膜半導体)イメージセンサや,フラッシュメモリ,3次元構造のトランジスタなど,様々なデバイス(以下,チップと呼ぶ)の信頼性に影響を及ぼすことが懸念されている。東芝はこれまで,RTNに寄与する欠陥の時定数に注目し,欠陥時定数のばらつき及びそのばらつきを支配している物理機構を実験的に明らかにしてきた。今回,その欠陥の時定数の特徴と事象のランダム性を利用して,情報セキュリティへの応用,特にPUF(Physical Unclonable Function)への適用を考案した。RTNを適用したPUFは,チップ個体のID(Identifier)を短時間で生成できるうえに,100万回以上利用しても安定してIDを生成できる高い耐性を持つことを実証した。(著者抄録)