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J-GLOBAL ID：201602226969161450   整理番号：16A0941713

有機無機ハイブリッド材料研究開発のためのコンビナトリアル分子層積層製膜システム

著者 (12件)： 川嶋一裕 (コメット) ,  岡本裕二 (筑波大) ,  鈴木義和 (筑波大) ,  伊高健治 (弘前大) ,  松木伸行 (神奈川大) ,  角谷正友 (NIMS) ,  長沢春男 (コメット) ,  佐藤利弘 (コメット) ,  鈴木摂 (コメット) ,  鯉沼秀臣 (コメット) ,  鯉沼秀臣 (筑波大) ,  鯉沼秀臣 (NIMS)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 77th  ページ： ROMBUNNO.15p-A41-14  発行年： 2016年09月01日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ハイブリッド複合材料 ,  無機材料 ,  有機材料 ,  研究開発 ,  *コンビナトリアルケミストリー ,  積層構造 ,  フィードバック制御 ,  PID動作 ,  PID制御 ,  *有機無機ハイブリッド複合体
準シソーラス用語： *有機無機ハイブリッド材料

分類 (2件)： 固体デバイス材料  (NC03020K) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (5件)： 有機無機ハイブリッド材料 ,  研究 ,  開発 ,  分子 ,  製膜