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J-GLOBAL ID：201602241658840887   整理番号：16A0582568

レーザー光を利用した気相からの高速結晶成長

Laser-assisted chemical vapor deposition of ceramic coatings with oriented growth and nanostructures

著者 (2件)： 伊藤暁彦 (横浜国大 大学院環境情報研究院) ,  伊藤暁彦 (東北大 金属材料研)
資料名： 応用物理  (JSAP International)
巻： 85  号： 7  ページ： 590-594  発行年： 2016年07月10日 
JST資料番号： F0252A  ISSN： 0369-8009  CODEN： OYBSA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 一般に,レーザー光を用いた材料の合成では,パルスレーザーを集光して局所的に大きなエネルギーを得る。これに対して,連続発振レーザーを広げて用いることで,大きな領域に活性な化学気相成長場を作り出すことができる。気相からの自己配向成長や自己組織化の技術は,実用工業材料に新たな価値を見いだすものである。本稿では,レーザー光を利用した実用セラミックス材料の化学気相成長法(CVD)を紹介し,電子顕微鏡を通して気相からの高速結晶成長を観察する。(著者抄録)

シソーラス用語： *結晶成長 ,  レーザビーム ,  *連続レーザ ,  *レーザ照射 ,  化学蒸着 ,  自己組織化 ,  *電子顕微鏡観察
準シソーラス用語： レーザ光 ,  CWレーザ ,  *化学気相成長

分類 (2件)： 結晶成長技術・装置  (BK13020B) ,  レーザ照射・損傷  (BK16040S)

引用文献 (14件)：

• S. Ruppi: Int. J. Refract. Met. H. 23, 306 (2005).
• A. Ito, H. Kadokura, T. Kimura, and T. Goto: J. Alloy. Compd. 489, 469 (2010).
• Y. You, A. Ito, and T. Goto: Mater. Lett. 106, 11 (2013).
• A. Ito, S. Nishigaki, and T. Goto: J. Eur. Ceram. Soc. 35, 2195 (2015).
• A. Ito, Y. You, T. Ichikawa, K. Tsuda, and T. Goto: J. Eur. Ceram. Soc. 34, 155 (2014).

タイトルに関連する用語 (3件)： レーザー光 ,  気相 ,  結晶成長