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J-GLOBAL ID：201602247181317457   整理番号：16A0491012

スパッタ成膜a-Si:Hを用いたレーザー誘起誘電泳動による光MEMS拡散センサーの開発

Development of Micro Optical Diffusion Sensor utilizing Laser-Induced Dielectrophoresis with Sputtered a-Si:H

著者 (4件)： 鎌田慎 (慶応大 大学院理工学研究科) ,  山田幹 (協同インターナショナル(川崎市)) ,  田口良広 (慶応大 理工) ,  長坂雄次 (慶応大 理工)
資料名： 熱物性  (日本熱物性学会会誌)
巻： 30  号： 2  ページ： 74-79  発行年： 2016年05月31日 
JST資料番号： X0597A  ISSN： 0913-946X  CODEN： NEBUE4  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では微量な生体試料の拡散係数を高速に測定するMEMSデバイスを開発している。拡散現象を高速に検知するため,本測定法ではレーザー誘起誘電泳動を利用して前処理不要なマイクロスケール濃度分布形成を可能としている。レーザー誘起誘電泳動には励起光照射により導電率が上昇する光導電膜が必要であり,水素化アモルファスシリコンが用いられる。今回,反応性RFマグネトロンスパッタ法により光導電膜を種々の条件で成膜し,提案するデバイスへの適用性を評価した。評価結果に基づき測定デバイスを作製し,拡散現象を検知した。これにより,スパッタ成膜a-Si:Hを用いた光MEMS拡散センサーの妥当性が確認されたので報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： *アモルファスシリコン ,  水素化物 ,  *半導体薄膜 ,  反応性スパッタリング ,  *RFスパッタリング ,  マグネトロンスパッタリング ,  光伝導 ,  電気伝導率 ,  *MEMS ,  電気泳動 ,  誘電分極 ,  レーザ照射 ,  生体試料 ,  濃度分布 ,  拡散係数 ,  微量成分 ,  光ポンピング ,  薄膜成長 ,  ポリスチレン ,  粒状材
準シソーラス用語： a-Si:H ,  MEMSセンサ ,  MEMSデバイス ,  ポリスチレンビーズ ,  マイクロセンサ ,  拡散現象 ,  光導伝 ,  光励起 ,  水素化アモルファスシリコン ,  導電率 ,  誘電泳動

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

引用文献 (13件)：

• [1] N. Kanzaki, T. Q. P. Uyeda, K. Onuma; “Intermolecular Interaction of Actin Revealed by a Dynamic Light Scattering Technique”, J. Phys. Chem. B, 110 (2006) 2881-2887.
• [2] A. Hawe, W. L. Hulse, W. Jiskoot, R. T. Forbes; “Taylor Dispersion Analysis Compared to Dynamic Light Scattering for the Size Analysis of Therapeutic Peptides and Proteins and Their Aggregates”, Pharm. Res., 28 (2011) 2302-2310.
• [3] J. F. Torres, A. Komiya, D. Henry, S. Maruyama; “Measurement of Soret and Fickian diffusion coefficients by orthogonal phase-shifting interferometry and its application to protein aqueous solutions”, J. Chem. Phys., 139 (2013) 074203.
• [4] 小宮敦樹,円山重直,守谷修一;「タンパク質物質拡散現象における広域緩衝液の影響評価」,熱物性,24 (2010) 15-20.
• [5] K. Kuroi, K. Okajima, M. Ikeuchi, S. Tokutomi, T. Kamiyama, M. Terazima; “Pressure-Sensitive Reaction Yield of the TePixD Blue-Light Sensor Protein”, J. Phys. Chem. B, 119 (2015) 2897-2907.

タイトルに関連する用語 (8件)： スパッタ成膜 ,  Si ,  レーザー誘起 ,  誘電泳動 ,  光MEMS ,  拡散 ,  センサー ,  開発