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J-GLOBAL ID：201602250867148373   整理番号：16A1222240

レーザ援用微粒子ジェット法により樹脂基板に導線を平坦に埋込する技術の開発

著者 (1件)： 鈴木勝彦 (仙台高専)
資料名： 天田財団助成研究成果報告書  (Report of Grant-Supported Researches the Amada Foundation)
巻： 29  ページ： 185-189  発行年： 2016年10月 
JST資料番号： J0694A  ISSN： 2434-0723  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 連続発振型グリーンレーザによりポリアセタール基板に,基板固定-レーザノズル振動方式とレーザノズル固定-基板振動方式による積層キャパシタのための矩形溝を形成し,積層キャパシタを埋込形成する検討を行い,以下の知見を得た。1)レーザノズル固定-基板振動方式を用いることでより矩形に近い溝が形成される,2)基板振動方式で形成した溝への積層キャパシタ形成方式により,基板,レーザノズルを固定した積層キャパシタ形成方式よりも,静電容量に対する積層数変化の比例関係が良く,高価な方形ファイバーを利用したとほぼ同等のものが得られる。3)共振周波数は小さい方が,より矩形に近い溝が形成できる。

シソーラス用語： *溝加工 ,  *積層形コンデンサ ,  *埋込み【挿入】 ,  基板 ,  *ポリアセタール ,  熱可塑性プラスチック ,  *レーザ応用 ,  衝突噴流 ,  噴流 ,  微粒子 ,  リード線 ,  回路部品 ,  電子部品 ,  ノズル ,  噴射 ,  *連続レーザ ,  可視レーザ ,  溝
準シソーラス用語： 積層キャパシタ ,  樹脂基板 ,  レーザ援用微粒子ジェット噴射埋込 ,  導線 ,  噴射ノズル ,  微細溝

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  固体デバイス材料  (NC03020K) ,  LCR部品  (NA05030D)

引用文献 (9件)：

• H. Kamiya, T. Miyake, H. Kobayashi and K. Kondo: Int. Symp. Electronics Materials and Packing (EMAP2005), p.183.
• J. Akedo: Int. Conf. Electronics Packaging (ICEP2009).
• N. Noji, M. S. S. Zahmaty, T. Shibuya, N. Yoshihara and T. Kuriyagawa: Proc. 3^rd. Int. Conf. Leading Edge Manufacturing in 21^st Century, 2005, p.833.
• K. Suzuki, M. Miura, A. Konno, K. Miura, T. Yuzawa, M. Watanabe and T. Kuriyagawa: Jpn. J. Appl. Phys. 49 (2010) 06GN09-1~4.
• K. Suzuki, T. Saito, T. Sugai, S. Watanbe, S. Kameya, K. Miura and T. Kuriyagawa: Jpn. J. Appl. Phys. 50 (2011) 06GM12-1~5.

タイトルに関連する用語 (8件)： レーザ ,  援用 ,  微粒子 ,  ジェット ,  樹脂基板 ,  導線 ,  埋込 ,  開発