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J-GLOBAL ID：201602252635681778   整理番号：16A0689005

ヘリウムイオン顕微鏡を用いた多層セラミックキャパシタの断面の活性電圧コントラストイメージング

Active voltage contrast imaging of cross-sectional surface of multilayer ceramic capacitor using helium ion microscopy

著者 (7件)： Sakai C. (National Institute for Materials Science, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan) ,  Ishida N. (National Institute for Materials Science, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan) ,  Masuda H. (National Institute for Materials Science, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan) ,  Nagano S. (National Institute for Materials Science, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan) ,  Kitahara M. (National Institute for Materials Science, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan) ,  Ogata Y. (TAIYO YUDEN CO., LTD., Takasaki-shi, Gunma 370-3347, Japan) ,  Fujita D. (National Institute for Materials Science, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 109  号： 5  ページ： 051603-051603-4  発行年： 2016年08月01日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *磁器コンデンサ ,  *多層構造 ,  *断面 ,  電子 ,  *画像処理 ,  *ニッケル ,  電極 ,  *チタン酸バリウム ,  誘電体 ,  力顕微鏡 ,  *接触電位差
準シソーラス用語： *セラミックキャパシタ ,  二次電子 ,  *イメージング ,  *BaTiO₃ ,  Kelvinプローブ力顕微鏡

分類 (4件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  金属-絶縁体-金属構造  (BM03087F) ,  界面の電気的性質一般  (BM03081H)

タイトルに関連する用語 (7件)： ヘリウム ,  イオン顕微鏡 ,  多層 ,  セラミックキャパシタ ,  活性 ,  コントラスト ,  イメージング