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J-GLOBAL ID：201602266123152071   整理番号：16A1336170

約20nmの炭素被覆された陽極酸化アルミニウム孔へのUV硬化性ジ(メタ)アクリレート樹脂のサイズ依存的充填挙動

Size-Dependent Filling Behavior of UV-Curable Di(meth)acrylate Resins into Carbon-Coated Anodic Aluminum Oxide Pores of around 20 nm

著者 (6件)： NAKAGAWA Masaru (Tohoku Univ., Miyagi, JPN) ,  NAKAYA Akifumi (Tohoku Univ., Miyagi, JPN) ,  HOSHIKAWA Yasuto (Tohoku Univ., Miyagi, JPN) ,  ITO Shunya (Tohoku Univ., Miyagi, JPN) ,  HIROSHIBA Nobuya (Tohoku Univ., Miyagi, JPN) ,  KYOTANI Takashi (Tohoku Univ., Miyagi, JPN)
資料名： ACS Applied Materials & Interfaces  (ACS Applied Materials & Interfaces)
巻： 8  号： 44  ページ： 30628-30634  発行年： 2016年11月09日 
JST資料番号： W2329A  ISSN： 1944-8244  CODEN： AAMICK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 紫外線ナノインプリントリソグラフィー(UV-NIL)は,次世代のリソグラフィー手法として注目されているマイクロ/ナノ加工に使用されるリソグラフィー技術である。本研究では,電気化学的酸化により,約20nmの直径および50nmの深さを有する多孔質陽極酸化アルミニウム(AAO)膜を調製し,コンビナトリアル試験のためのUVナノインプリントにおける型として,分散細孔直径を有するモールド凹部への樹脂の充填挙動を調べた。カーボンソースとしてC₂H₂を用いた600°Cでの熱CVDは,UVナノインプリントにおいてアンチスティッキング層として機能する厚さ2nmのカーボン膜で,AAO膜の最外面および側壁面全体を完全に覆った。ヒドロキシ含有脂肪族ジ(メタ)アクリレートモノマーグリセロールジメタクリレート,ジプロパノイック酸ビスエステル,およびグリセロール1,3-ジグリセロレイトジアクリレートからなるUV硬化性樹脂は,炭素被覆されたAAO型によって成形することができた。しかしヒドロキシを含まない脂肪族モノマー,1,10-ディカネジオールジアクリレートは,UVで通常使用されるよりも高い,1.6MPaの印加圧力下で,約20nmの直径を有する型のキャビティをほとんど充填しなかった。

シソーラス用語： *酸化アルミニウム ,  *押付成形 ,  *リソグラフィー ,  電気化学 ,  光重合型樹脂 ,  *陽極酸化アルミニウム ,  紫外線硬化樹脂
準シソーラス用語： UV硬化性樹脂 ,  *リソグラフィー技術 ,  *紫外線ナノインプリント

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  アクリル樹脂  (YH07110K)

タイトルに関連する用語 (6件)： 炭素被覆 ,  陽極酸化アルミニウム ,  UV硬化 ,  アクリレート樹脂 ,  サイズ ,  挙動