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J-GLOBAL ID：201602289701845016   整理番号：16A1038725

火山構造のSpindt型電界エミッタアレイを用いた静電集束イメージセンサ

Electrostatic-focusing image sensor with volcano-structured Spindt-type field emitter array

著者 (8件)： Honda Yuki (NHK Science and Technology Research Laboratories, 1-10-11 Kinuta, Setagaya-ku, Tokyo 157-8510, Japan and Graduate School of Science and Technology, Shizuoka University, 3-5-1 Johoku, Naka-ku, Hamamatsu-shi, Shizuoka 432-8011, Japan) ,  Nanba Masakazu (NHK Science and Technology Research Laboratories, 1-10-11 Kinuta, Setagaya-ku, Tokyo 157-8510, Japan) ,  Miyakawa Kazunori (NHK Science and Technology Research Laboratories, 1-10-11 Kinuta, Setagaya-ku, Tokyo 157-8510, Japan) ,  Kubota Misao (NHK Science and Technology Research Laboratories, 1-10-11 Kinuta, Setagaya-ku, Tokyo 157-8510, Japan) ,  Nagao Masayoshi (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, AIST Tsukuba Central 2, 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8568, Japan) ,  Neo Yoichiro (Research Institute of Electronics, Shizuoka University, 3-5-1 Johoku, Naka-ku, Hamamatsu-shi, Shizuoka 432-8011, Japan) ,  Mimura Hidenori (Research Institute of Electronics, Shizuoka University, 3-5-1 Johoku, Naka-ku, Hamamatsu-shi, Shizuoka 432-8011, Japan) ,  Egami Norifumi (Faculty of Humanity-Oriented Science and Engineering, Kindai University, 11-6 Kayanomori, Iizuka-shi, Fukuoka 820-8555, Japan)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 34  号： 5  ページ： 052201-052201-6  発行年： 2016年09月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電界エミッタアレイ(FEA)と高利得アバランチラッシングアモルファス光検出器(HARP)ターゲットから成る高感度コンパクトイメージセンサを開発した。最終目的は超高感度のコンパクト高精細度テレビジョンカメラを開発することである。二重ゲート付き電界エミッタはコンパクトな電子ビーム集束システムの利点があるけれども,ゲート電極の1.5μm上に積層された集束電極をもつ二重ゲート付きSpindt型電界エミッタアレイのセンサによって再現される画像強度は低電子ビーム電流のために一様ではない。センサで利用可能な,二重ゲート電界エミッタアレイから抽出される最少の電子ビーム電流を検討した。更に,電子ビーム電流と静電集束レンズ強度のバランスをとるために適した電界エミッタアレイのピッチをシミュレートした。センサの設計ガイドラインとして,集束電極がゲート電極ホールの下0.2μmに置かれている火山構造二重ゲート付きSpindt型電界エミッタアレイの場合には,約3μmの電界エミッタアレイピッチが合理的であろう。シミュレーション結果に基づき,集束電極がゲート電極ホールの下0.2μmに置かれた火山構造化Spindt型の3.1μmピッチFEAをもつ画像センサを作製した。火山構造FEAから抽出される最少電子ビーム電流は約2μA/pixであることと,静電集束効果を利用することで,改善された画像強度均一性を有する画像センサが得られることを実証した。これらの結果は,火山構造二重ゲート付きSpindt型FEAは高精細度テレビジョンFEA-HARP画像センサに潜在的に適していることを示している。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *イメージセンサ ,  *アレイ ,  効果 ,  電流 ,  ピッチ【機械要素】 ,  個数 ,  *HDTV ,  導体
準シソーラス用語： *電界エミッタアレイ ,  二重ゲート ,  集束効果 ,  ビーム電流 ,  画素数 ,  高精細度テレビジョン ,  光伝導体

分類 (1件)： テレビジョン一般  (ND12031N)

タイトルに関連する用語 (4件)： 火山 ,  電界エミッタアレイ ,  集束 ,  イメージセンサ