極端紫外光生成装置および極端紫外光生成方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：保坂延寿
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-135472
公開番号（公開出願番号）：特開2013-093308
特許番号：特許第6021454号
出願日： 2012年06月15日
公開日（公表日）： 2013年05月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ターゲット物質に第1レーザ光を照射する第1レーザ装置と、前記第1レーザ光の照射によって拡散した前記ターゲット物質に、ピーク部と、該ピーク部の照射前に照射され該ピーク部よりもエネルギーの低いペデスタルと、を含む第2レーザ光を照射して、極端紫外光を生成する第2レーザ装置と、前記ペデスタルのエネルギーを調節するペデスタル調節機構と、前記ペデスタルを含む前記第2レーザ光のパルス波形を検出する波形検出器と、前記波形検出器で検出されたパルス波形に基づいて前記ペデスタル調節機構を制御する制御部と、を備える極端紫外光生成装置。

IPC (2件)：