特許
J-GLOBAL ID：201603000697777068
有機エレクトロルミネッセンス素子製造方法
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
特許業務法人磯野国際特許商標事務所
, 磯野 道造
, 奈良 泰男
, 伊藤 直樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-282637
公開番号（公開出願番号）：特開2014-127323
特許番号：特許第6036279号
出願日： 2012年12月26日
公開日（公表日）： 2014年07月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 有機エレクトロルミネッセンス素子を製造する有機エレクトロルミネッセンス素子製造方法であって、
基板上に形成された有機エレクトロルミネッセンス層上に、プラズマで支援せず、熱反応のみの原子層堆積法を行ってアルミナ製の第1層を形成する第1層形成工程と、
前記第1層上に、プラズマ支援原子層堆積法を行ってアルミナ製の第2層を形成する第2層形成工程と、
を含むことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子製造方法。
IPC (3件)：
H05B 33/10 ( 200 6.01)
, H05B 33/04 ( 200 6.01)
, H01L 51/50 ( 200 6.01)
H05B 33/10
, H05B 33/04
, H05B 33/14 A
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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